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외부자극응답성 연성 나노입자를 이용한 패턴화된 나노구조체 및 이의 제조방법(Patterned nanostructures by using stimuli-responsive soft nanoparticles and method for manufacturing the same)

  • 기술번호 : KST2017013754
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 외부자극응답성 연성 나노입자를 이용한 패턴화된 나노구조체 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 수중에서의 온도 또는 염의 종류 및 농도에 따라 연성 나노입자 결정단층막을 구성하는 외부자극응답성 연성 나노입자의 크기가 가역적으로 수축 또는 팽창하여 패턴의 크기, 형태 및 간격을 가역적으로 조절할 수 있는바, 다양한 크기, 형태와 간격을 가진 패턴을 구현할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 패턴화된 나노구조체는 복잡한 공정 없이도 패턴에 사용되는 입자의 특성에 따라 패턴의 크기, 형태 및 간격을 나노수준으로 조절할 수 있는바, 유/무기 패턴 기술을 필요로 하는 바이오, 전자산업, 에너지 산업 등 다양한 분야에 효율적으로 활용될 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2016.03.23) H01L 21/02 (2016.03.23) H01L 29/06 (2016.03.23) H01L 21/67 (2016.03.23)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020160018328 (2016.02.17)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0096731 (2017.08.25) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 발송처리완료
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.17)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조은철 대한민국 서울특별시 성동구
2 송지은 대한민국 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노철호 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)(특허법인도담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-0156518-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0155026-47
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0842606-76
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2017-0077627-89
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0177357-79
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0177358-14
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0411187-84
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0775187-74
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0885061-22
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-1001212-65
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-1125707-27
13 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2017.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-1149090-17
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0204737-20
15 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0394251-52
16 법정기간연장승인서
2018.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0065662-79
17 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.05.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0474781-93
18 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0474783-84
19 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0358966-91
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 및상기 기판 상에 형성된 10 nm 내지 5 ㎛ 직경의 수화겔 나노입자를 포함하는 수화겔 나노입자 결정단층막, 상기 수화겔 나노입자 결정단층막은 육방 격자 형태로 자기조립된 형태를 가짐;을 포함하는 패턴화된 나노구조체로서,(i) 상기 수화겔 나노입자는 수중에서의 온도가 증가함에 따라 수축되는 한편, 온도가 감소함에 따라 팽창하는 방식으로 상기 기판 상에 수화겔 나노입자 패턴을 형성하고, 상기 수화겔 나노입자의 수축 또는 팽창은 수중에서의 온도의 증가 또는 감소에 따라 가역적으로 이루어짐, 또한(ii) 상기 수화겔 나노입자는 염 용액의 처리 시 염의 농도가 증가함에 따라 수축되는 한편, 염의 농도가 감소함에 따라 팽창하는 방식으로 상기 기판 상에 수화겔 나노입자 패턴을 형성하고, 상기 수화겔 나노입자의 수축 또는 팽창은 염의 농도의 증가 또는 감소에 따라 가역적으로 이루어짐, 그리고,상기 염은 호프마이스터 계열(Hofmeister series)에 속하는 염인 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체
2 2
제1항에 있어서,상기 수화겔 나노입자 패턴은 상기 수화겔 나노입자가 동일 또는 상이한 간격으로 반복되어 형성된 것을 특징으로 하고, 상기 수화겔 나노입자의 간격은 온도의 변화 또는 염의 농도에 따라 가역적으로 변화하는 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체
3 3
제1항에 있어서,상기 온도는 0 내지 100 ℃의 범위에서 변화하는 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체
4 4
제1항에 있어서,상기 염은 Na3citrate, Na2CO3, Na2SO4, Na2S2O3, NaH2PO4, NaF, NaCl, NaBr, NaNO3, NaI, NaClO4 및 NaSCN으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체
5 5
제1항에 있어서,상기 염의 농도는 0
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘 웨이퍼, 규소/규소산화물 재질의 유리, 석영 커버글라스, indium tin oxide, ZnO, TiO2 금속산화물 층, poly(dimethylsiloxane), polyethylene, polypropylene, poly(methyl methacrylate), polystyrene, poly(ethylene terephtalate) 또는 이들의 공중합체와 같은 고분자 기질로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체
8 8
제1항에 있어서,상기 수화겔 나노입자는 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드)[poly(N-isopropylacrylamide), pNIPAM], 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드-co-알릴아민)[poly(N-isopropyl acrylamide-co-allylamine), poly(NIPAM-co-AA)], 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드-co-2-(디메틸아미노)에틸 메타아크릴레이트)[poly(N-isopropylacrylamide-co-2-(dimethylamino)ethyl methacrylate), poly(NIPAM-co-DMAEMA)], 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드-co-2-(디메틸아미노)에틸 아크릴레이트)[poly(N-isopropyl acrylamide-co-2-(dimethylamino)ethyl acrylate), poly(NIPAM-co-DMAEA)], 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드-co-아크릴산)[poly(N-isopropyl acrylamide-co-acrylic acid), poly(NIPAM-co-AAc)], 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드-co-메타아크릴산)[poly(N-isopropyl acrylamide-co-methacrylic acid), poly(NIPAM-co-MAAc)], 폴리(N,N-디에틸아크릴아미드)[poly(N,N-diethylacrylamide)], 폴리(N-비닐카프롤락탐)[poly(N-vinlycaprolactam)], 폴리(에틸렌 글리콜)[poly(ethylene glycol)], 폴리(에틸렌 글리콜-b-프로필렌 글리콜-b-에틸렌 글리콜)[poly(ethylene glycol-b-propylene glycol-b-ethylene glycol)]로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체
9 9
기판에 10 nm 내지 5 ㎛ 직경의 수화겔 나노입자를 포함하는 수화겔 나노입자 결정단층막을 형성하는 단계, 상기 수화겔 나노입자 결정단층막은 육방 격자 형태로 자기조립된 형태를 가짐; 및(b) (i) 상기 수화겔 나노입자 결정단층막이 형성된 기판의 수중에서의 온도가 증가함에 따라 수축되는 한편, 온도가 감소함에 따라 팽창하는 방식으로 상기 기판 상에 수화겔 나노입자 패턴을 형성하거나, 또는 (ii) 상기 수화겔 나노입자 결정단층막이 형성된 기판의 염 용액의 처리 시 염의 농도가 증가함에 따라 수축되는 한편, 염의 농도가 감소함에 따라 팽창하는 방식으로 상기 기판 상에 수화겔 나노입자 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 패턴화된 나노구조체의 제조방법으로서,상기 수화겔 나노입자의 수축 또는 팽창은 수중에서의 온도의 증가 또는 감소에 따라 가역적으로 이루어지고, 또한 염의 농도의 증가 또는 감소에 따라 가역적으로 이루어지며, 그리고상기 염은 호프마이스터 계열(Hofmeister series)에 속하는 염인 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체의 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 수화겔 나노입자 패턴은 상기 수화겔 나노입자가 동일 또는 상이한 간격으로 반복되어 형성된 것을 특징으로 하고, 상기 수화겔 나노입자의 간격은 온도의 변화 또는 염의 농도에 따라 가역적으로 변화하는 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체의 제조방법
11 11
제9항에 있어서,상기 온도는 0 내지 100 ℃의 범위에서 변화하는 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체의 제조방법
12 12
제9항에 있어서,상기 염은 Na3citrate, Na2CO3, Na2SO4, Na2S2O3, NaH2PO4, NaF, NaCl, NaBr, NaNO3, NaI, NaClO4 및 NaSCN으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체의 제조방법
13 13
제9항에 있어서,상기 염의 농도는 0
14 14
삭제
15 15
제9항에 있어서,상기 기판은 실리콘 웨이퍼, 규소/규소산화물 재질의 유리, 석영 커버글라스, indium tin oxide, ZnO, TiO2 금속산화물 층, poly(dimethylsiloxane), polyethylene, polypropylene, poly(methyl methacrylate), polystyrene, poly(ethylene terephtalate) 또는 이들의 공중합체와 같은 고분자 기질로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체의 제조방법
16 16
제9항에 있어서,상기 수화겔 나노입자는 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드)[poly(N-isopropylacrylamide), pNIPAM], 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드-co-알릴아민)[poly(N-isopropyl acrylamide-co-allylamine), poly(NIPAM-co-AA)], 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드-co-2-(디메틸아미노)에틸 메타아크릴레이트)[poly(N-isopropylacrylamide-co-2-(dimethylamino)ethyl methacrylate), poly(NIPAM-co-DMAEMA)], 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드-co-2-(디메틸아미노)에틸 아크릴레이트)[poly(N-isopropyl acrylamide-co-2-(dimethylamino)ethyl acrylate), poly(NIPAM-co-DMAEA)], 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드-co-아크릴산)[poly(N-isopropyl acrylamide-co-acrylic acid), poly(NIPAM-co-AAc)], 폴리(N-이소프로필 아크릴아미드-co-메타아크릴산)[poly(N-isopropyl acrylamide-co-methacrylic acid), poly(NIPAM-co-MAAc)], 폴리(N,N-디에틸아크릴아미드)[poly(N,N-diethylacrylamide)], 폴리(N-비닐카프롤락탐)[poly(N-vinlycaprolactam)], 폴리(에틸렌 글리콜)[poly(ethylene glycol)], 폴리(에틸렌 글리콜-b-프로필렌 글리콜-b-에틸렌 글리콜)[poly(ethylene glycol-b-propylene glycol-b-ethylene glycol)]로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 패턴화된 나노구조체의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한양대학교 산학협력단 이공분야 기초연구사업 / 중견연구자지원사업 / 핵심연구 외부자극응답성 연성 나노입자를 활용한 기능성 콜로이드의 신규 나노패턴공정 및 나노구조체 개발
2 산업통상자원부 한양대학교 산학협력단 산업기술혁신사업 / 에너지기술개발사업 / 신재생에너지융합원천기술개발사업(RCMS) 전기활성 미생물을 이용한 저급 탄소원의 바이오연료 전환기술