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태양전지용 유무기 복합 봉지막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019024350
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 개시제를 사용한 화학기상증착(iCVD)와 원자층 증착(ALD)의 교차 공정을 통하여 유무기 복합 봉지막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 상기 방법에 의해 제조된 유무기 복합 봉지막을 페로브스카이트 태양전지와 같은 소자에 적용하여 소자의 성능 저하 없이 수분 안정성 및 장기 수명을 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01L 51/44 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 31/0256 (2006.01.01)
CPC H01L 51/448(2013.01) H01L 51/448(2013.01) H01L 51/448(2013.01) H01L 51/448(2013.01) H01L 51/448(2013.01) H01L 51/448(2013.01) H01L 51/448(2013.01)
출원번호/일자 1020180010181 (2018.01.26)
출원인 한국과학기술원, 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0091118 (2019.08.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.01.26)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임성갑 대전광역시 유성구
2 이영일 대전광역시 유성구
3 김봉준 대전광역시 유성구
4 서장원 서울특별시 성동구
5 전남중 광주광역시 북구
6 양태열 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이처영 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, **층 (역삼동, 윤익빌딩)(*T국제특허법률사무소)
2 장제환 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, **층 (역삼동, 윤익빌딩)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
2 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-0094966-29
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0096497-64
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0862659-12
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0049418-11
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0049419-67
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0360756-47
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2019.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-0595882-90
9 법정기간연장승인서
2019.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0098467-79
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.07.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0741444-42
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0741443-07
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.08.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0589053-17
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.09.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0921147-64
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2019-0921146-18
15 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.11.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0802082-28
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다음 단계를 포함하는 개시제를 사용한 화학기상증착(iCVD) 및 원자층 증착(ALD)을 이용한 태양전지용 유무기 복합 봉지막의 제조방법:(a) 기판 상에 iCVD를 이용하여 유기층을 증착하는 단계;(b) 60~70 ℃의 원자층 증착기 챔버 내에서 무기막 전구체를 상기 유기층이 형성된 기판 상에 흡착시켜 원자층을 형성시키고 상기 무기막 전구체를 질소 기체로 15~45 sec 동안 퍼징한 다음, 물을 상기 무기막 전구체와 반응시키고, 질소 기체로 30~60 sec 동안 퍼징하여 원자층 막을 성장시키되, 상기 물을 주입한 후의 질소 기체 퍼징시간을 물을 주입하기 전의 질소 기체 퍼징시간보다 더 길게 하여 상기 유기층 상에 ALD를 이용하여 무기층을 증착하는 단계; 및(c) 상기 (a) 및 (b) 단계를 진행한 다음, 상기 (a)와 (b) 단계를 n회 (n=0 내지 200의 정수) 반복하는 단계
2 2
제1항에 있어서, 상기 (a) 단계는 iCVD 반응기에 기판을 위치시키고, 개시제의 존재 하에 상기 기판 상에 단량체를 공급하여 중합체를 형성시키는 것을 특징으로 하는 태양전지용 유무기 복합 봉지막의 제조방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 단량체는 비닐기(vinyl group)를 2개 이상 포함하는 화합물이고, 1,3,5-트리비닐-1,3,5-트리메틸시클로트리실록산, 2,4,6,8-테트라메틸-2,4,6,8-테트라비닐시클로테트라실록산 및 1,3-디에테닐-1,1,3,3-테트라메틸-디실록산으로 구성된 군에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 태양전지용 유무기 복합 봉지막의 제조방법
4 4
제2항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 기판의 온도를 25~40 ℃, 반응기내 압력을 200~400mTorr로 유지하면서 20분 이상 수행하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 유무기 복합 봉지막의 제조방법
5 5
제2항에 있어서, 상기 개시제는 화학식 1 내지 화학식 5의 퍼옥사이드(peroxide) 화합물 및 벤조페논(benzophenone) 화합물로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 유무기 복합 봉지막의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 무기층은 Al, Zr, Ti, Hf, In, Sn, Zn, Ce 및 Si로 구성된 군에서 선택되는 하나 이상의 금속 산화물 또는 질화물인 것을 특징으로 하는 태양전지용 유무기 복합 봉지막의 제조방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
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10 10
삭제
11 11
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12 12
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13 13
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 기후변화대응 기초원천기술개발 (EZBARO)고신뢰성 페로브스카이트 태양전지용 봉지기술 개발(2016)
2 산업통상자원부 한국화학연구원 신재생에너지핵심기술개발 (RCMS) 고효율 (16% 이상) 대면적 (15 cm x 15 cm) 인쇄공정 기반 페로브스카이트 태양전지 모듈 제조 기술 개발
3 교육부 한국화학연구원 이공학학술연구기반구축 (EZ)광흡수체 및 정공수송물질의 제어를 통한 고기능의 페로브스카이트 태양전지 개발
4 미래창조과학부 한국화학연구원 한국화학연구원연구운영비지원 (Sub) 광에너지 융합소재 원천기술 개발
5 미래창조과학부 한국화학연구원 글로벌프론티어지원 페로브스카이트 태양전지 대면적화 고속 공정 기술 개발