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패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014022067
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 S1) 다공성 나노 템플레이트 필터 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; S2) 상기 다공성 나노 템플레이트 필터 상에 포토레지스트 패턴이 존재하지 않은 영역에 이산화규소를 증착하여 이산화규소 박막 패턴을 형성하는 단계; S3) 상기 포토레지스트 패턴을 제거하여, 다공성 나노 템플레이트 필터 상에 이산화규소 박막 패턴이 형성된 필터 몰드를 얻는 단계; S4) 상기 필터 몰드를 진공 여과 장치에 장착 후, 그 상부에 CNT 분산용액을 주입하고 진공 여과하여 이산화규소 박막 패턴 사이에 CNT 박막 패턴을 형성하는 단계; S5) 상기 필터 몰드 전면에 걸쳐 플렉서블 기판 형성용 조성물을 도포한 후 이를 경화하여 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 및 S6) 상기 필터 몰드와 플렉서블 기판을 분리하는 단계를 포함하는 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법에 관한 것이다. 상기 제조된 CNT 박막은 투명전극으로 사용되어 각종 플렉서블 디스플레이에 바람직하게 적용가능하다. CNT, 다공성 나노 템플레이트, 필터 몰드, 플렉서블 기판
Int. CL G02F 1/1333 (2006.01.01) H01L 31/0224 (2006.01.01) G02F 1/1343 (2006.01.01)
CPC G02F 1/133305(2013.01) G02F 1/133305(2013.01) G02F 1/133305(2013.01)
출원번호/일자 1020080012482 (2008.02.12)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0911183-0000 (2009.07.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20090806) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.12)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 민동훈 대한민국 경기 안양시 만안구
2 이승백 대한민국 서울 강남구
3 임채현 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장수영 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, *층(역삼동, 대아빌딩)(특허법인 신우)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2008-0102312-89
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.02.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0121666-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.12.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.01.16 수리 (Accepted) 9-1-2009-0004890-68
6 등록결정서
Decision to grant		 2009.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0313582-63
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
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번호 청구항
1 1
S1) 다공성 나노 템플레이트 필터 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; S2) 상기 다공성 나노 템플레이트 필터 상에 포토레지스트 패턴이 존재하지 않은 영역에 이산화규소를 증착하여 이산화규소 박막 패턴을 형성하는 단계; S3) 상기 포토레지스트 패턴을 제거하여, 다공성 나노 템플레이트 필터 상에 이산화규소 박막 패턴이 형성된 필터 몰드를 얻는 단계; S4) 상기 필터 몰드를 진공 여과 장치에 장착 후, 그 상부에 CNT 분산용액을 주입하고 진공 여과하여 이산화규소 박막 패턴 사이에 CNT 박막 패턴을 형성하는 단계; S5) 상기 필터 몰드 전면에 걸쳐 플렉서블 기판 형성용 조성물을 도포한 후 이를 경화하여 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 및 S6) 상기 필터 몰드와 플렉서블 기판을 분리하는 단계 를 포함하는 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 다공성 나노 템플레이트 필터(1)는 기공의 직경이 20 내지 100 nm, 기공의 깊이가 60 내지 100 ㎛, 기공의 밀도는 100 개/㎛2 내지 500 개/㎛2 인 것을 사용하는 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 포토레지스트 패턴은 광학 리소그라피법을 이용하여 형성하는 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 포토레지스트 패턴은 네가티브 포토레지스트를 이용하여 형성하는 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 이산화규소 박막은 스퍼터링 또는 이온빔 증착법으로 형성하는 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 CNT 분산용액은 CNT 분말, 계면활성제 및 용매를 포함하는 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 계면활성제는 나트륨 도데실 설페이트(SDS), 나트륨 옥틸벤젠 술포네이트(NaOBS), 나트륨 도데실 벤젠 설페이트(SDBS), 트리톤X-100(TRITON X-100), 나트륨 도데실 설포네이트(SDSA), 나트륨 부틸벤조에이트(NaBBS), 도데실트리메틸암모늄 브로마이드(DTAB), 덱스트린(dextrin), 폴리스티렌-폴리에틸렌옥사이드(PS-PEO) 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 1종인 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
8 8
제6항에 있어서, 상기 용매는 물; 메탄올, 에탄올, 프로판올 또는 이소프로판올의 알코올; 메틸메타아크릴레이트, 에틸렌글리콜, 또는 디메틸포름아마이드의 유기용매, 및 이들의 혼합 용매로 이루어진 군에서 선택된 1종을 사용하는 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 CNT 분산 용액은 교반을 통해 제조시 그 전후, 또는 교반과 동시에 초음파를 인가하는 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 초음파 인가는 출력 20 내지 60W, 진동수 10 내지 30 kHz인 초음파를 5 내지 7 시간 동안 수행하는 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 진공 여과는 0
12 12
제1항에 있어서, 상기 플렉서블 기판 형성용 조성물은 폴리실란(polysilane), 폴리실록산(polysiloxane), 폴리실라잔(polysilazane), 폴리카르보실란(polycarbosilane), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리메타크릴레이트(polymethacrylate), 폴리메틸아크릴레이트(polymethylacrylate), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmetacrylate), 폴리에틸아크릴레이트(polyethylacrylate), 폴리에틸메타크릴레이트 (polyethylmetacrylate) 및 이들의 공중합체로 이루어진 군에서 선택된 1종의 고분자를 포함하는 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
13 13
제1항에 있어서, 상기 경화는 70 내지 80 ℃에서 60 내지 180분 동안 수행하는 것인 패터닝된 CNT 박막이 형성된 플렉서블 기판의 제조방법
14 14
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따라 제조된 플렉서블 기판을 포함하는 플렉서블 디스플레이
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국과학재단 한양 대학교 특정기초연구 다중벽탄소나노튜브 기반 고성능 터치패널용 투명 압력센서array 개발