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1
표면상에 홈이 형성된 기판;
상기 기판 상에 형성되고, 상기 홈을 기준으로 두 개의 영역으로 분리되는 제 1 전극층;
상기 제 1 전극층의 각 영역의 상부에 형성되는 제 2 전극층; 및
상기 홈의 상부에서 상기 제 1 전극층의 절단면 사이에 형성되는 칼코게나이드 나노와이어
를 포함하는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자
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2
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극층의 각 영역은,
사각형 모양의 제 1 패턴; 및
상기 제 1 패턴에 연결되며 상기 홈의 상부로 절단면이 노출되는 선 모양의 제 2 패턴
을 포함하는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자
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3
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 전극층의 두께 및 상기 제 2 패턴의 폭은 5nm 내지 50 nm인 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자
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4
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 전극층은 금(Au), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 코발트(Co) 또는 철(Fe)을 포함하는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자
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5
표면상에 홈이 형성된 기판;
상기 기판 상에 형성되고, 내부에 복수의 금속 나노도트를 포함하면서 상기 홈을 기준으로 분리되는 두 개의 패턴으로 형성되는 전극층; 및
상기 홈의 상부에서 상기 복수의 금속 나노도트 중 상기 전극층의 패턴 사이로 노출된 금속 나노도트 사이에 형성되는 칼코게나이드 나노와이어
를 포함하는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자
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6
제 5항에 있어서,
상기 복수의 금속 나노도트는 금(Au), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 코발트(Co) 또는 철(Fe)을 포함하는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자
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7
기판을 제공하는 단계;
상기 기판 상에 제 1 전극층을 형성하는 단계;
상기 제 1 전극층을 두 개의 제 1 패턴 및 상기 두 개의 제 1 패턴의 사이에 위치하는 선 모양의 제 2 패턴으로 패터닝하는 단계;
상기 두 개의 제 1 패턴 및 상기 제 2 패턴의 상부에 제 2 전극층을 형성하는 단계;
상기 제 2 패턴의 상부에 위치하는 상기 제 2 전극층의 소정 영역을 식각하여 두 개의 패턴으로 패터닝하는 단계;
상기 제 2 전극층의 패턴 사이로 노출되는 상기 제 2 패턴을 식각하는 단계;
상기 제 2 전극층의 패턴 사이로 노출되는 상기 기판의 표면을 식각하여 홈을 형성하는 단계; 및
상기 제 2 전극층의 패턴 사이로 노출된 상기 제 2 패턴의 절단면 사이에 칼코게나이드 나노와이어를 형성하는 단계
를 포함하는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자 제조 방법
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8
제 7항에 있어서, 상기 칼코게나이드 나노와이어를 형성하는 단계에서,
상기 칼코게나이드 나노와이어는 기체-액체-고체법을 이용하여 형성되는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자 제조 방법
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9
제 7항에 있어서,
상기 제 1 전극층의 두께 및 상기 제 2 패턴의 폭은 5nm 내지 50nm인 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자 제조 방법
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10
제 7항에 있어서,
상기 제 1 전극층은 금(Au), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 코발트(Co) 또는 철(Fe)을 포함하는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자 제조 방법
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11
기판을 제공하는 단계;
상기 기판 상에 금속 박막층을 증착하고 증착된 상기 금속 박막층을 두 개의 영역으로 패터닝하는 단계;
상기 금속 박막층에 열 에너지를 인가하여 복수의 금속 나노도트를 형성하는 단계;
상기 복수의 금속 나노도트가 형성된 영역에 전극층을 증착하고, 상기 증착된 전극층을 두 개의 영역으로 패터닝하는 단계;
상기 전극층의 패턴 사이로 노출된 상기 기판의 표면을 식각하여 홈을 형성하는 단계; 및
상기 복수의 금속 나노도트 중 상기 전극층의 패턴 사이로 노출된 금속 나노도트 사이에 칼코게나이드 나노와이어를 형성하는 단계
를 포함하는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자 제조 방법
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12
제 11항에 있어서, 상기 칼코게나이드 나노와이어를 형성하는 단계에서,
상기 칼코게나이드 나노와이어는 기체-액체-고체법을 이용하여 형성되는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자 제조 방법
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제 11항에 있어서,
상기 금속 박막층의 두께는 5nm 내지 20nm인 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자 제조 방법
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제 11항에 있어서,
상기 복수의 금속 나노도트는 금(Au), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 코발트(Co) 또는 철(Fe)을 포함하는 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자 제조 방법
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