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기판이 실장되는 스테이지; 및
상기 기판 상에서 혼합되면 산화환원 반응에 의해 도전물질을 형성하는 서로 다른 잉크용액이 수용되는 2 이상의 잉크젯 헤드
을 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템
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제 1 항에 있어서,
상기 잉크젯 헤드는, 상기 도전물질이 이온형태로 함유된 제 1 잉크용액이 수용되는 제 1 잉크젯 헤드; 및
상기 이온형태의 도전물질을 상기 도전물질로 환원시키는 환원제가 함유된 제 2 잉크용액이 수용되는 제 2 잉크젯 헤드
를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템
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3
제 2 항에 있어서,
상기 제 2 잉크용액은 알데히드 계열의 유기 화합물, 포도당 계열의 화합물 또는 무기물 환원제 중 적어도 어느 한 물질을 함유하는 잉크젯 프린팅 시스템
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4
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 잉크용액은 은(Ag) 이온 염, 구리(Cu) 이온 염, 및 니켈(Ni) 이온 염 중 어느 하나의 이온 염을 함유하는 잉크젯 프린팅 시스템
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제 1 항에 있어서,
상기 기판은 유리 재질 또는 플라스틱 재질로 이루어지는 잉크젯 프린팅 시스템
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6
산화환원 반응에 의해 도전물질을 형성하는 서로 다른 잉크 용액을 2 이상의 잉크젯 헤드에 각각 준비하는 제 1 단계;
일정 패턴에 따라 기판에 상기 서로 다른 잉크용액을 분사하는 제 2 단계; 및
분사된 상기 서로 다른 잉크용액이 혼합하여 반응하면서 상기 도전물질을 생성하는 제 3 단계
를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템을 이용한 전극 패턴 막의 형성방법
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7 |
7
제 6 항에 있어서,
상기 서로 다른 잉크용액은, 금속 이온을 함유하는 제 1 잉크용액 및 상기 금속 이온을 환원시키는 제 2 잉크용액을 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템을 이용한 전극 패턴 막의 형성방법
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8
제 6 항에 있어서,
상기 제 2 단계는,
상기 기판이 일정 온도가 되도록 가열하는 단계
를 더 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템을 이용한 전극 패턴 막의 형성방법
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9
제 6 항에 있어서,
상기 제 2 단계는,
압전소자에 의한 진동으로 상기 잉크용액으로부터 잉크방울을 방출하는 단계인 잉크젯 프린팅 시스템을 이용한 전극 패턴 막의 형성방법
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10 |
10
제 6 항에 있어서,
상기 제 2 단계는,
열을 가하여 상기 잉크용액 내부에 기포를 발생시키고 이에 따라 잉크방울이 각각 방출되는 단계인 잉크젯 프린팅 시스템을 이용한 전극 패턴 막의 형성방법
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11
제 6 항에 있어서,
상기 제 2 단계 전,
상기 기판에 일정 유기용액을 도포하여 접착막을 형성하는 단계를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템을 이용한 전극 패턴 막의 형성방법
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12
제 6 항의 전극 패턴 막의 형성방법에 따라 상기 기판 상에 제 1 도전물질을 생성하는 단계; 및
제 6 항의 전극 패턴 막의 형성방법에 따라 상기 제 1 도전물질 상에 제 2도전물질을 생성하는 단계
를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템을 이용한 전극 패턴 막의 형성방법
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13
제 12 항에 있어서,
상기 제 1 도전물질은 니켈이며, 상기 제 2 도전물질은 은 또는 구리인 잉크젯 프린팅 시스템을 이용한 전극 패턴 막의 형성방법
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