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레이저를 이용한 절연막 형성 방법

  • 기술번호 : KST2020007672
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 절연막 형성 방법은, 기판 상에 2차원 물질을 전사하는 단계; 상기 2차원 물질 상에 금속박막을 증착하는 단계; 상기 금속박막에 레이저를 조사하는 단계; 및 상기 레이저가 조사된 영역의 금속박막을 절연막으로 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 21/28 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/285 (2006.01.01)
CPC H01L 21/28194(2013.01) H01L 21/28194(2013.01) H01L 21/28194(2013.01) H01L 21/28194(2013.01) H01L 21/28194(2013.01)
출원번호/일자 1020180159855 (2018.12.12)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0072089 (2020.06.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.12.12)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유경식 대전광역시 유성구
2 심재호 대전광역시 유성구
3 박정훈 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-1246332-04
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0121617-94
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0415669-65
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2020-0866369-82
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.08.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0866370-28
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번호 청구항
1 1
기판 상에 2차원 물질을 전사하는 단계;상기 2차원 물질 상에 금속박막을 증착하는 단계;상기 금속박막에 레이저를 조사하는 단계; 및 상기 레이저가 조사된 영역의 금속박막을 절연막으로 형성하는 단계를 포함하는 레이저를 이용한 절연막 형성 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 2차원 물질을 전사하는 단계는,그래핀, 흑린, 몰리브덴 계열, 실리센에서 선택된 어느 하나를 단일층으로 전사하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 절연막 형성 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 금속박막을 증착하는 단계는,상기 2차원 물질 상에 화학기상증착에 의해 텅스텐을 30 nm 내지 70 nm의 두께로 증착하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 절연막 형성 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 금속박막에 레이저를 조사하는 단계는,상기 금속박막에서 절연성을 부여하고자 하는 영역에 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 절연막 형성 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 금속박막에 레이저를 조사하는 단계는,레이저 출력이 10 ~ 80 mW인 레이저를 이용하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 절연막 형성 방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 금속박막을 절연막으로 형성하는 단계에서, 상기 절연막으로 형성된 금속 박막의 영역은 상기 2차원 물질을 보호하는 보호막으로 작용하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 절연막 형성 방법
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DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2020189026 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국과학기술원 원천기술개발사업 레이저-소재 상호 작용 기반 디스플레이 핵심소재 개발