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유체 분배 장치 및 유체 분배 방법

  • 기술번호 : KST2014046386
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법을 제공한다. 이 방법은 예비 단위 영역들을 포함하는 예비 유체 분배부를 이용하여 기판의 최적 공정 위치를 선택하고, 및 기판의 최적 공정 위치에 대응하는 예비 유체 분배부의 구조를 전사하여 유체 분배부를 제공하는 것을 포함한다. 예비 단위 영역들 각각은 위치에 따라 서로 다른 유량을 공급하는 스플릿 영역들을 포함한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC C23C 16/45565(2013.01) C23C 16/45565(2013.01) C23C 16/45565(2013.01) C23C 16/45565(2013.01)
출원번호/일자 1020110020169 (2011.03.08)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1101176-0000 (2011.12.26)
공개번호/일자 10-2011-0031303 (2011.03.25) 문서열기
공고번호/일자 (20120102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2009-0043113 (2009.05.18)
관련 출원번호 1020090043113;1020110066431
심사청구여부/일자 Y (2011.03.08)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장홍영 대한민국 대전광역시 유성구
2 이헌수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0165090-30
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0264614-56
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0514011-31
4 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0513825-11
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.07.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0514038-63
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0759098-62
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 노즐들을 포함하는 노즐판;상기 노즐판의 일면 상에 배치되어 복수의 판들이 서로 교차하여 다각형 형상들을 구성하는 고립 구조체;상기 고립 구조체 상에 배치되어 상기 다각형 형상의 상부에 적어도 하나의관통홀을 제공하는 스플릿판; 및상기 스플릿판 상에 배치되어 버퍼 공간을 제공하고 유체가 공급되는 유체 공급 라인과 연결되는 가드부를 포함하되,상기 노즐판, 상기 다각형 형상, 및 분배판은 케비티를 형성하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 스플릿판의 상기 관통홀의 직경 및 밀도 중에서 적어도 하나를 제어하여 상기 제1 노즐을 통과하는 유량을 제어하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 스플릿판의 상기 관통홀은 규칙적으로 배열되어 단위 영역들로 구분되는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
4 4
제1 항에 있어서,상기 노즐판에 전력을 공급하는 전원을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
5 5
제1 항에 있어서,상기 노즐판의 타면의 표면에 형성된 홀들을 더 포함하되, 상기 홀들은 상기 노즐의 주위에 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
6 6
제5 항에 있어서,상기 홀들의 지름은 상기 노즐의 지름보다 큰 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
7 7
제1 항에 있어서,상기 노즐판의 타면의 표면에 형성된 홀들을 더 포함하되, 상기 홀들 중에서 적어도 하나는 상기 노즐과 같은 중심축 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
8 8
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101045598 KR 대한민국 FAMILY
2 KR101059078 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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