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유체 분배 장치 및 유체 분배 방법

  • 기술번호 : KST2016000551
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유체 분배 장치를 제공한다. 이 유체 분배 장치는 제1 노즐들을 포함하는 제1 노즐판, 제1 노즐판의 일면 상에 배치되어 제1 노즐의 지름보다 작은 제2노즐들을 포함하는 제2 노즐판, 및 제1 노즐판 및 제2 노즐판 주위에 배치되어 버퍼 공간을 제공하고 유체가 공급되는 유체 공급 라인과 연결되는 가드부를 포함하되, 제1 노즐판의 제1 노즐과 상기 제2 노즐들은 서로 연결되도록 배치되고, 제2 노즐은 위치에 따라 적어도 둘 이상의 다른 직경을 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC C23C 16/45565(2013.01) C23C 16/45565(2013.01) C23C 16/45565(2013.01) C23C 16/45565(2013.01)
출원번호/일자 1020110066431 (2011.07.05)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1059078-0000 (2011.08.18)
공개번호/일자 10-2011-0089120 (2011.08.04) 문서열기
공고번호/일자 (20110825) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2011-0020169 (2011.03.08)
관련 출원번호 1020110020169
심사청구여부/일자 Y (2011.07.05)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장홍영 대한민국 대전광역시 유성구
2 이헌수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0513825-11
2 등록결정서
Decision to grant		 2011.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0456708-42
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 노즐들을 포함하는 제1 노즐판;상기 제1 노즐판의 일면 상에 배치되어 상기 제1 노즐의 지름보다 작은 제2노즐들을 포함하는 제2 노즐판; 및상기 제1 노즐판 및 상기 제2 노즐판 주위에 배치되어 버퍼 공간을 제공하고 유체가 공급되는 유체 공급 라인과 연결되는 가드부를 포함하되,상기 제1 노즐판의 제1 노즐과 상기 제2 노즐들은 서로 연결되도록 배치되고, 상기 제2 노즐은 위치에 따라 적어도 둘 이상의 다른 직경을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 제1 노즐의 중심축과 상기 제2 노즐의 중심축은 서로 일치하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 제2 노즐판의 상기 제2 노즐들은 규칙적으로 배열되어 단위 영역들로 구분되는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
4 4
제3 항에 있어서,상기 단위 영역들은 서로 분리 결합하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
5 5
제1 항에 있어서,상기 제1 노즐판에 전력을 공급하는 전원을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
6 6
제5 항에 있어서,상기 제1 노즐판의 타면의 표면에 형성된 홀들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101045598 KR 대한민국 FAMILY
2 KR101101176 KR 대한민국 FAMILY

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