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다결정실리콘 승온소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2018015666
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다결정실리콘 승온소자 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 기판 위에 제1 절연막과 비정질탄소막을 순차적으로 증착하는 단계; 상기 비정질탄소막을 노광 및 식각하여 트렌치 라인을 형성하는 단계; 전체표면 상부에 제2 절연막을 증착하는 단계; 상기 제2 절연막 위에 다결정실리콘을 증착 후 노광 및 식각하여 승온소자 의 패드부와 히터부를 형성하는 단계; 전체표면 상부에 제3 절연막을 증착 후 승온소자의 패드부와 히터부의 표면을 노출시키는 단계; 및 상기 히터부의 하부 비정질탄소막을 제거하여 빈공간을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/3215 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/3205 (2006.01.01)
CPC H01L 21/32155(2013.01) H01L 21/32155(2013.01) H01L 21/32155(2013.01) H01L 21/32155(2013.01) H01L 21/32155(2013.01) H01L 21/32155(2013.01)
출원번호/일자 1020170064084 (2017.05.24)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0128680 (2018.12.04) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.05.24)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이병주 대한민국 대전광역시 서구
2 임부택 대한민국 대전광역시 서구
3 설우석 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정회환 대한민국 대전광역시 서구 둔산중로 ***(둔산동), ****호(정국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0495401-61
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.05.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0419437-14
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0082054-05
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-0742879-22
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.07.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0742889-89
7 등록결정서
Decision to grant		 2018.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0738463-40
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 기판 위에 제1 절연막과 비정질탄소막을 순차적으로 증착하는 단계;상기 비정질탄소막을 노광 및 식각하여 트렌치 라인을 형성하는 단계;전체표면 상부에 제2 절연막을 증착하는 단계;상기 제2 절연막 위에 다결정실리콘을 증착 후 노광 및 식각하여 승온소자 의 패드부와 히터부를 형성하는 단계;전체표면 상부에 제3 절연막을 증착 후 승온소자의 패드부와 히터부의 표면을 노출시키는 단계; 및상기 히터부의 하부 비정질탄소막을 제거하여 빈공간을 형성하는 단계:를 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정실리콘 승온소자 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 절연막은 실리콘산화막인 것을 특징으로 하는 다결정실리콘 승온소자 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 제2 및 제3 절연막은 실리콘산화막 또는 실리콘질화막이거나 실리콘산화막과 실리콘질화막을 적층한 복합막인 것을 특징으로 하는 다결정실리콘 승온소자 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 비정질탄소막은 PECVD법으로 0
5 5
제1항에 있어서,상기 트렌치 라인이 형성된 비정질탄소막은 다각형 또는 원형 형상으로 서로 연결되어 있는 폐쇄 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 다결정실리콘 승온소자 제조방법
6 6
제5항에 있어서,상기 트렌치의 폭은 1um ~ 2um이고, 상기 트렌치의 라인 개수는 1~3개인 것을 특징으로 하는 다결정실리콘 승온소자 제조방법
7 7
상기 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 다결정실리콘 승온소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.