맞춤기술찾기

이전대상기술

박막 코팅 방법 및 그에 따라 제조된 전자 소자

  • 기술번호 : KST2019014583
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 코팅 방법 및 그에 따라 제조된 전자 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 회전 방식을 이용한 박막 코팅 방법과 이를 통해 제조된 전자 소자에 관한 것이다. 본 발명의 실시 형태에 따른 박막 코팅 방법은, 희생층 상에 도전성 박막을 형성하는 박막 형성 단계; 희생층과 도전성 박막을 부식액이 포함된 액체에 띄워 희생층을 제거하는 플로팅 단계; 액체에 포함된 부식액을 제거하는 제거 단계; 및 기판을 회전시켜 도전성 박막을 기판에 코팅하는 코팅 단계;를 포함한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/56 (2006.01.01) B23K 26/362 (2014.01.01) H01L 21/311 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01)
출원번호/일자 1020180009127 (2018.01.25)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0090452 (2019.08.02) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.01.25)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김택수 대한민국 대전광역시 유성구
2 강태엽 대한민국 대전광역시 유성구
3 강수민 대한민국 대전광역시 유성구
4 조민선 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 손재용 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동, 미진빌딩*층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0086898-80
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0185095-89
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.08.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.10.11 수리 (Accepted) 9-1-2018-0052938-31
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.07.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0484258-96
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.09.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0910043-67
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2019-0910044-13
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0066470-90
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0221838-99
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.03.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0221837-43
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2020.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0217297-95
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
희생층 상에 도전성 박막을 형성하는, 박막 형성 단계;상기 희생층과 상기 도전성 박막을 부식액이 포함된 액체에 띄워 상기 희생층을 제거하는, 플로팅 단계;상기 액체에 포함된 상기 부식액을 제거하는, 제거 단계; 및기판을 회전시켜 상기 도전성 박막을 상기 기판에 코팅하는, 코팅 단계;를 포함하고,상기 기판은 원통형 또는 튜브형이고,상기 코팅 단계는, 상기 기판의 회전축과 상기 도전성 박막의 길이 방향 사이의 각도가 예각이 되도록 상기 기판을 상기 도전성 박막에 접촉시킨 상태로 상기 기판을 회전시켜 나선형의 박막 패턴을 형성하는, 박막 코팅 방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
제 5 항에 따른 박막 코팅 방법에 의해 제조된 전자 소자
11 11
제 5 항에 따른 박막 코팅 방법에 의해 제조된 전자 소자에 있어서,상기 박막 패턴의 인덕턴스 변화를 이용하여 상기 기판의 스트레인의 측정이 가능한, 전자 소자
12 12
삭제
13 13
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국전자통신연구원 산업기술혁신사업 (RCMS)그래핀 소재의 OLED 투명전극과 박막봉지 적용을 위한 2세대 이상 기판 기반의 플랙서블 OLED 소자/패널 기초 및 응용 기술 개발(2017)
2 미래창조과학부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 (EZBARO)웨어러블 플랫폼소재 기술센터(2017)
3 과학기술정보통신부 인하대학교 미래소재디스커버리 사업 비등방 복셀 탄성분포 구조체 기반 멀티모달 광역학 제어 소재 개발