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다공성 박막의 제조 방법(Method for manufacturing a porous thin film)

  • 기술번호 : KST2017006331
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속 산화물을 포함하는 나노입자(nano particle)가 응집된 응집체를 포함하는 소스 분말(source powder)을 준비하는 단계, 상기 소스 분말(source powder)을 분말 저장 탱크 내에 준비하는 단계, 상기 분말 저장 탱크와 챔버의 압력 차이를 이용하여, 상기 소스 분말을 가속시키는 단계, 및 가속된 상기 소스 분말을 상기 챔버 내의 기판 상으로 제공하여, 상기 금속 산화물을 포함하는 박막을 상기 기판 상에 제조하는 단계를 포함하는 다공성 박막의 제조 방법이 제공될 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2015.10.23)
CPC H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01)
출원번호/일자 1020150131424 (2015.09.17)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0033931 (2017.03.28) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.09.17)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이선영 대한민국 경기 성남시 분당구
2 김형섭 대한민국 경기도 광명시 광
3 박윤찬 대한민국 경기도 과천시 관문로 *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2015-0904241-66
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0123046-66
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0703514-03
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-1170869-14
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-1293164-41
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2017-0076995-97
8 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2017.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0097821-09
9 보정요구서
Request for Amendment
2017.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0013816-16
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.02.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0202851-00
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0202838-16
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0512622-35
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2017-0816692-15
14 법정기간연장승인서
2017.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0119547-92
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0921392-64
16 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.09.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0921393-10
17 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0699105-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금속 산화물을 포함하는 나노입자(nano particle)가 응집된 응집체를 포함하는 소스 분말(source powder)을 준비하는 단계;상기 소스 분말(source powder)을 분말 저장 탱크 내에 준비하는 단계;상기 분말 저장 탱크와 챔버의 압력 차이를 이용하여, 상기 소스 분말을 가속시키는 단계; 및가속된 상기 소스 분말을 상기 챔버 내의 기판 상으로 제공하여, 상기 금속 산화물을 포함하는 박막을 상기 기판 상에 제조하는 단계를 포함하되, 상기 소스 분말은 초음속으로 가속되어, 상기 소스 분말을 상기 기판 상으로 제공하는 과정에서, 상기 응집체는 상기 나노입자로 분리되고,상기 박막은 건식 공정으로 제조되고, 상기 박막의 두께에 따라, 상기 박막의 다공도가 조절되는 것을 포함하는 다공성 박막의 제조 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 나노입자의 직경이 감소함에 따라, 상기 박막의 다공도(porosity)가 감소하는 것을 포함하는 다공성 박막의 제조 방법
3 3
삭제
4 4
제1 항에 있어서,상기 박막의 두께가 기준 두께 이상인 경우, 상기 박막에 공동(void, 空洞)이 생성되는 것을 포함하는 다공성 박막의 제조 방법
5 5
제4 항에 있어서,상기 박막에 공동(void)이 생성되는 단계는,가속된 상기 소스 분말이 상기 기준 두께 이상의 상기 박막에 충돌하여, 상기 박막이 변형되는 것을 포함하는 다공성 박막의 제조 방법
6 6
삭제
7 7
제4 항에 있어서,상기 기준 두께는, 상기 응집체의 직경인 것을 포함하는 다공성 박막의 제조 방법
8 8
제1 항에 있어서,가속된 상기 소스 분말을 상기 챔버 내의 기판 상으로 제공하기 전, 상기 기판의 거칠기(roughness)를 조절하는 단계를 더 포함하는 다공성 박막의 제조 방법
9 9
제8 항에 있어서,상기 기판의 거칠기를 조절하는 단계는,상기 기판의 표면을 연마(polishing), 식각(etching), 및 코팅(coating) 하는 것을 포함하는 다공성 박막의 제조 방법
10 10
제8 항에 있어서,상기 기판의 거칠기(roughness)가 증가함에 따라, 상기 다공성 박막의 다공도(porosity)가 증가하는 것을 포함하는 다공성 박막의 제조 방법
11 11
제1 항에 있어서,상기 챔버 내부는 대기 분위기인 것을 포함하는 다공성 박막의 제조 방법
12 12
제1 항에 있어서,상기 소스 분말은, 상기 응집체 표면을 덮는 유기바인더 코팅층을 포함하는 다공성 박막의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.