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나노선 제작 마스터 몰드, 나노 소자 및 그 제조 방법(Nanowire manufacturing master mold, nano device and method of fabricating of the same)

  • 기술번호 : KST2018004955
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노 소자의 제조 방법이 제공된다. 상기 나노 소자의 제조 방법은 마스터 몰드(master mold)를 준비하는 제1 단계, 상기 마스터 몰드에 잉크를 제공하여 적어도 두 개 이상의 평행한 나노선들을 성장시키는 제2 단계 및 상기 마스터 몰드에 성장된 나노선들을 기판에 전사(transfer)하는 제3 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 29/06 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/56 (2006.01.01)
CPC H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01)
출원번호/일자 1020160135916 (2016.10.19)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0043066 (2018.04.27) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.19)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 성명모 대한민국 서울특별시 서초구
2 백장미 대한민국 경기도 수원시 권선구
3 박경선 대한민국 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-1015472-56
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0143334-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0685271-14
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-1185780-35
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-1302022-13
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.12.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1302023-69
8 등록결정서
Decision to grant
2018.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0359928-34
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2019.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2019-0562048-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
적어도 한 개의 채널을 가지는 마스터 몰드를 준비하는 제1 단계;상기 마스터 몰드의 채널에 유기 잉크를 제공하고, 상기 제공된 유기 잉크를 응결시켜 단결정 나노선으로 성장시키는 제2 단계; 및상기 마스터 몰드에 성장된 단결정 나노선을 기판에 전사하는 제3 단계를 포함하되,상기 채널의 폭은 100nm 이하인 나노 소자의 제조 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 제3 단계 후에,상기 기판에 전사된 나노선에 와이어를 형성하는 단계를 더 포함하는 나노 소자의 제조 방법
4 4
제2 항에 있어서,상기 마스터 몰드는 적어도 두 개 이상의 단위 나노 소자 형성을 위한 유닛 몰드들을 포함하는 나노 소자의 제조 방법
5 5
삭제
6 6
제2 항에 있어서,상기 제2 단계는,서로 다른 물질로 이루어진 유기 잉크를 상기 마스터 몰드에 함께 제공하는 단계를 포함하는 나노 소자의 제조 방법
7 7
제3항에 있어서,상기 제2 단계에 있어서,상기 마스터 몰드의 채널에 제공된 유기 잉크는 모세관 현상에 의해 상기 채널을 따라 이동하여 상기 나노선으로 성장되는 나노 소자의 제조 방법
8 8
제2항에 있어서,상기 제2 단계에 있어서,상기 나노선의 길이 및 상기 나노선의 개수는 상기 유기 잉크의 단위 액적 부피 및 상기 유기 잉크의 방울 개수 중 적어도 하나에 의하여 제어되는 나노 소자의 제조 방법
9 9
제2항에 있어서,상기 유기 잉크의 표면 자유 에너지(surface free energy)가 상기 마스터 몰드의 표면 자유 에너지보다 높은 나노 소자의 제조 방법
10 10
제6항에 있어서,상기 제3 단계에 있어서,상기 마스터 몰드 상에 형성된 나노선들을 상기 기판에 전사할 시, 상기 서로 다른 물질로 이루어진 유기 잉크에 의하여 성장된 나노선들을 동시에 전사하는 나노 소자의 제조 방법
11 11
제2항에 있어서,상기 제2 단계는, 상기 채널의 일 단에 제1 물질로 이루어진 제1 유기 잉크를 제공하는 단계; 상기 채널의 타 단에 상기 제1 물질과 상이한 제2 물질로 이루어진 제2 유기 잉크를 제공하는 단계; 및상기 제1 유기 잉크 및 상기 제2 유기 잉크를 단결정 나노선으로 성장시켜, 단면이 서로 직접적으로 접촉하여 연장하되, 비 중첩적으로 접촉하는 이종접합을 제공하는 단계를 포함하는 나노 소자의 제조 방법
12 12
적어도 두 종 이상의 단결정 유기 나노선들이 평행하게 배치된 나노 구조체를 포함하되,상기 구조체는 제1 물질을 포함하는 제1 단결정 유기 나노선 및 상기 제1 물질과 상이한 제2 물질을 포함하는 제2 단결정 유기 나노선을 포함하고,상기 제1 단결정 유기 나노선과 상기 제2 단결정 유기 나노선은 동일한 방향으로 연장하며,상기 제1 단결정 유기 나노선의 단면과 상기 제2 단결정 유기 나노선의 단면은 상기 제1 단결정 유기 나노선과 상기 제2 단결정 유기 나노선의 연장방향으로 비 중첩적으로(non-overlap) 접하며,상기 제1 단결정 유기 나노선 및 상기 제2 단결정 유기 나노선의 폭은 100nm 이하인, 나노 소자
13 13
적어도 두 종 이상의 단결정 나노선이 평행하게 배치된 나노 구조체를 포함하되,상기 구조체는 제1 물질을 포함하는 제1 단결정 유기 나노선 및 상기 제1 물질과 상이한 제2 물질을 포함하는 제2 단결정 유기 나노선을 포함하고,상기 제1 단결정 유기 나노선과 상기 제2 단결정 유기 나노선은 서로 평행하게 연장하고, 상기 제1 나노선과 상기 제2 나노선은 폭 방향으로 서로 이격하여 위치하되,상기 제1 단결정 유기 나노선 및 상기 제2 단결정 유기 나노선의 폭은 100nm 이하인, 나노 소자
14 14
제13 항에 있어서,상기 제1 단결정 유기 나노선은 서로 평행한 제1 서브 나노선들로 구성되고,상기 제2 단결정 유기 나노선은 서로 평행한 제2 서브 나노선들로 구성되고,상기 제1 서브 나노선들 및 상기 제2 서브 나노선들이 서로 교번하여 형성된 나노 소자
15 15
적어도 두 개 이상의 유닛 몰드로 이루어지되,상기 유닛 몰드는 유기 잉크를 수용하고, 상기 수용된 유기 잉크를 단결정 나노선으로 성장시키도록 100nm 이하의 채널로 이루어진 패턴을 포함하는 나노선 제작 마스터 몰드
16 16
유연 소재로 형성되고 적어도 한 개의 채널을 가지는 마스터 몰드를 제공하는 단계;상기 마스터 몰드를 잉크 제공부로 이동시키고, 상기 이동된 마스터 몰드에 상기 잉크 제공부를 통하여 유기 잉크를 제공하고, 상기 제공된 유기 잉크를 응결시켜 단결정 나노선을 형성하는 단계; 및상기 마스터 몰드를 대상 기판 상으로 이동시키고, 상기 형성된 나노선을 상기 기판에 전사하는 단계를 포함하되,상기 채널의 폭은 100nm 이하인 나노 소자의 제조 방법
17 17
제16항에 있어서,상기 기판을 와이어 형성부로 이동시키고, 상기 전사된 나노선에 상기 와이어 형성부를 통하여 와이어를 형성시키는 단계를 더 포함하는 나노 소자의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (재)한국연구재단 이공분야 기초연구사업 / 중견연구자지원사업 / 도약연구(전략-연구분야지정) 유연 나노집적소자 제작을 위한 잉크젯 나노프린팅 기술 개발
2 미래창조과학부 (재)한국연구재단 원천기술개발사업 / 창의소재디스커버리사업 / 창의소재디스커버리사업 멀티레벨 금속 단원자층 아키텍처 소재 제조 및 특성 평가
3 미래창조과학부 (재)한국연구재단 원천기술개발사업 / 나노소재 기술개발사업/ 나노.소재원천기술개발사업 유기-무기 나노복합 계면 제어 기술 개발 및 이종접합 전자소자 응용 연구