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기판 상에 나노구조물을 형성하는 단계;상기 나노구조물에 레이저(laser)를 조사하여 금속산화물을 형성하는 단계; 및상기 레이저에 의해 산화되는 상기 금속산화물의 전류 변화를 관측하여 산화 과정을 모니터링하는 단계를 포함하되,상기 나노구조물은산화작용 및 탈산화작용의 금속이 접목되어 탑다운(top-down) 방식으로 패턴된 것을 특징으로 하며,상기 금속산화물을 형성하는 단계는상기 나노구조물에서 산화작용의 금속으로 형성된 특정 부분에만 상기 레이저를 조사하여 상기 특정 부분에 대한 산화를 진행하여 상기 금속산화물을 형성하고, 상기 모니터링하는 단계는상기 기판 상의 초기 금속에 조사되는 저강도(Low Intensity)의 레이저, 고강도(High Intensity)의 레이저에 의해 형성되는 산화도중의 금속, 및 저강도(Low Intensity)의 레이저에 의해 상기 형성된 금속산화물 각각에서 발생되는 열에 의한 온도변화를 감지하여 모니터링하는 기능성 금속산화물 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 나노구조물은적어도 일부에 레이저의 빛 에너지를 흡수하기 위한 광흡수층이 형성된 것을 특징으로 하는 기능성 금속산화물 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 광흡수층은금속 및 반도체로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 기능성 금속산화물 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 레이저는상기 기판이 실리콘 기판이고, 상기 나노구조물이 50nm 두께의 산화막이며, 상기 광흡수층이 40nm 두께의 텅스텐(tungsten) 흡수층이고, 상압일 경우, 상기 레이저의 피크 파워는 2mW/μm2 내지 5mW/μm2 범위에서 제어되는 것을 특징으로 하는 기능성 금속산화물 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 모니터링하는 단계는실시간으로 상기 금속산화물의 전류 변화를 관측하여 상기 초기 금속, 상기 산화도중의 금속, 및 상기 형성된 금속산화물 각각의 상기 산화 과정을 모니터링하는 기능성 금속산화물 제조 방법
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기판 상에 나노구조물을 형성하는 단계; 및상기 나노구조물에 레이저(laser)를 조사하여 금속산화물을 형성하는 단계를 포함하되,상기 형성된 금속 산화물은상기 기판 상의 초기 금속에 저강도(Low Intensity)의 레이저를 조사하는 단계, 고강도(High Intensity)의 레이저를 조사하여 산화도중의 금속을 형성하는 단계, 및 저강도(Low Intensity)의 레이저를 조사하여 상기 금속산화물을 형성하는 단계에 의해 형성되고, 상기 각 단계에서 발생되는 전류 변화에 의해 모니터링되며, 상기 나노구조물은산화작용 및 탈산화작용의 금속이 접목되어 탑다운(top-down) 방식으로 패턴된 것을 특징으로 하고, 상기 금속산화물을 형성하는 단계는상기 나노구조물에서 산화작용의 금속으로 형성된 특정 부분에만 상기 레이저를 조사하여 상기 특정 부분에 대한 산화를 진행하여 상기 금속산화물을 형성하는 방법으로 제조된 전자소자
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제9항에 있어서,상기 전자소자는관측 모듈(Source Measurement Unit; SMU)에 의해 모니터링되는 것을 특징으로 하는 전자소자
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제9항에 있어서,상기 전자소자는가스센서, 태양전지, 트랜지스터, 발광다이오드, 바이오센서, 광센서 및 광검출기 중 적어도 어느 하나를 포함하는 전자소자
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