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전자 방출원의 제조방법 및 이를 적용한 전자소자의 제조방법
- 기술번호 : KST2015131895
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 전자 방출원의 제조방법 및 이를 적용하는 전자소자의 제조방법에 관련되어 기술된다. 전자 방출원의 전자방출 물질층은 필트레이션 및 전사법에 의해 형성되며, 전사는 소정 패턴의 윈도우(개구)를 가지는 마스크를 이용함으로써 목적하는 형태의 전자방출층을 자유롭게 얻을 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | H01J 9/02 (2006.01) H01J 1/30 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020090051957 (2009.06.11) |
| 출원인 | 고려대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1094453-0000 (2011.12.08) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0133197 (2010.12.21) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20111215) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.06.11) |
| 심사청구항수 | 26 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 고려대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이철진 | 대한민국 | 서울특별시 강북구 |
| 2 | 정승일 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
| 3 | 신동훈 | 대한민국 | 서울특별시 성동구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 리앤목특허법인 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 고려대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.06.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0354142-46 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2010.04.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0273116-50 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.08.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5149278-93 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.09.08 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.10.18 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0064824-74 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.12.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0580735-61 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.02.21 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0124650-04 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.02.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0124649-57 |
| 9 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.06.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0340673-01 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.08.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0640943-35 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.08.18 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0640945-26 |
| 12 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.11.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0677088-15 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5018243-16 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.04.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5049934-62 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5210941-09 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 판상 템플리트에 전자방출 물질막을 형성하는 단계; 캐소드 전극이 형성된 타깃 기판을 준비하는 단계; 상기 캐소드 전극에 대응하는 전자방출막 형성용 윈도우를 가지는 마스크를 준비하는 단계; 상기 마스크로 상기 캐소드 전극이 형성된 타깃 기판을 덮은 후, 상기 템플리트의 전자방출 물질막을 타깃 기판에 가압하여, 상기 윈도우의 형상에 대응하는 전자방출막을 상기 캐소드 전극 위에 형성하는 단계;를 포함하는 전자방출원의 제조방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 캐소드 전극으로 전사된 전자방출막을 상기 캐소드에 대해 일으켜 세우는(erecting) 표면처리 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출원의 제조방법 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서, 상기 캐소드 전극의 표면은 상기 전자방출막이 부착되는 점착성을 가지는 것을 특징으로 하는 전자방출원의 제조방법 |
| 4 |
4 제 3 항에 있어서, 상기 점착성은 상기 캐소드 전극의 몸체 자체에 부여하는 것을 특징으로 하는 전자방출원의 제조방법 |
| 5 |
5 제 3 항에 있어서, 상기 점착성은 상기 캐소드 전극의 표면에 형성되는 점착성 도전물질에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 전자방출원의 제조방법 |
| 6 |
6 제 5 항에 있어서, 상기 캐소드 전극과 점착성 도전물질은 도전성 박판의 이면에 점착성 도전물질이 형성되어 있는 도전성 양면 테이프에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 전자방출원의 제조방법 |
| 7 |
7 제 4 항에 있어서, 상기 점착성을 가지는 캐소드 전극은 도전성 페이스트에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 전자방출원의 제조방법 |
| 8 |
8 제 1 항 내지 제 7 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 전자방출 물질막은 침상전자방출물질이 분산되어 있는 현탁액으로 형성하는 것을 특징으로 하는 전자방출원의 제조방법 |
| 9 |
9 제 8 항에 있어서, 상기 현탁액은 용매와 계면활성제를 함유하는 것을 특징으로 하는 전자방출원의 제조방법 |
| 10 |
10 제 8 항에 있어서, 상기 침상전자방출물질은 SW CNT(Single-walled Carbon Nano Tube), DW(double walled) CNT, MW((Multi-walled) CNT, 나노와이어, 나노로드, 파이버, 나노파이버, 나노파티클 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출원의 제조방법 |
| 11 |
11 타깃 기판에 스트라이프 상의 다수 나란한 캐소드 전극을 형성하는 단계; 상기 캐소드 전극들에 대응하는 것으로, 각 캐소드 전극의 길이 방향으로 배열되는 다수의 전자방출막 형성용 윈도우를 가지는 마스크를 준비하는 단계; 상기 기판에 대응하는 크기의 판상 템플리트에 전자방출물질 막을 형성하는 단계; 상기 마스크로 상기 다수 캐소드 전극들이 형성된 타깃 기판을 덮은 후, 상기 템플리트의 전자방출물질 막을 타깃 기판에 가압하여 상기 윈도우의 형상에 대응하는 전자방출막들을 상기 캐소드 전극들 위에 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 12 |
12 제 11 항에 있어서, 상기 캐소드 전극은 상기 기판에 대해 다수 나란하게 배치하며, 상기 전자 방출막은 상기 각 캐소드 전극 상에 소정간격으로 다수 형성하는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 13 |
13 제 11 항에 있어서, 상기 캐소드 전극은 상기 기판 상에 스트라이프 상으로 다수 나란하게 배치하며, 상기 전자 방출막은 상기 각 캐소드 전극의 위에 선형으로 길게 연장 형성하는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 14 |
14 제 11 항에 있어서, 상기 캐소드 전극으로 전사된 전자방출막을 상기 캐소드에 대해 일으켜 세우는(erecting) 표면처리 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 15 |
15 제 11 항에 있어서, 상기 캐소드 전극의 표면은 상기 전자방출막이 부착되는 점착성을 가지는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 16 |
16 제 15 항에 있어서, 상기 점착성은 상기 캐소드 전극의 몸체 자체에 부여하는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 17 |
17 제 15 항에 있어서, 상기 점착성은 상기 캐소드 전극의 표면에 형성되는 점착성 도전물질에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 18 |
18 제 17 항에 있어서, 상기 캐소드 전극과 점착성 도전물질은 도전성 박판의 이면에 점착성 도전물질이 형성되어 있는 도전성 양면 테이프에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 19 |
19 제 16 항에 있어서, 상기 점착성을 가지는 캐소드 전극은 도전성 페이스트에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 20 |
20 제 11 항 내지 제 19 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 전자방출 물질막은 침상전자방출물질이 분산되어 있는 현탁액으로 형성하는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 21 |
21 제 20 항에 있어서, 상기 현탁액은 용매와 계면활성제를 함유하는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 22 |
22 제 20 항에 있어서, 상기 침상전자방출물질은 SW CNT(Single-walled Carbon Nano Tube), DW(double walled) CNT, MW (Multi-walled) CNT, 나노와이어, 나노로드, 파이버, 나노파이버, 나노파티클 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출 어레이의 제조방법 |
| 23 |
23 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재된 전자방출원의 제조단계를 포함하는 전자 소자의 제조방법 |
| 24 |
24 제 11 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 기재된 전자방출 어레이 제조방법을 포함하는 디스플레이의 제조방법 |
| 25 |
25 제 24 항에 있어서, 상기 기판에 대응하는 애노드 플레이트의 내면에 애노드 전극과 형광체층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조방법 |
| 26 |
26 제 11 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 기재된 전자방출 어레이 제조방법을 포함하는 전자소자의 제조방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US20100316792 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2010316792 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 국제과학기술협력재단, 한국과학재단, 한국과학재단 | 한국과학재단, 고려대학교 산학협력단, 고려대학교 산학협력단 | 과학기술국제화사업, 세계적수준의연구중심대학육성사업,중견연구자지원_도약연구 | (3차년도)급성 호흡기 감염 조기진단을 위한 탄소나노튜브 기반 고감도 나노바이오센서 개발,플렉서블 나노시스템 기반기술, 플렉서블투명전도성 CNT-Polymer 박막 기술 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
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- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1094453-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090611 출원 번호 : 1020090051957 공고 연월일 : 20111215 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20111121 청구범위의 항수 : 26 유별 : H01J 1/30 발명의 명칭 : 전자 방출원의 제조방법 및 이를 적용한 전자소자의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 529,500 원 | 2011년 12월 09일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 428,400 원 | 2014년 08월 25일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 428,400 원 | 2015년 10월 30일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 428,400 원 | 2016년 09월 28일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 761,600 원 | 2017년 11월 01일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 544,000 원 | 2018년 10월 25일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 544,000 원 | 2019년 10월 17일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 835,000 원 | 2020년 11월 26일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.06.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0354142-46 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 | 2010.04.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0273116-50 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.08.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5149278-93 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.09.08 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 | 2010.10.18 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0064824-74 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2010.12.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0580735-61 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.02.21 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0124650-04 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.02.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0124649-57 |
| 9 | 의견제출통지서 | 2011.06.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0340673-01 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.08.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0640943-35 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.08.18 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0640945-26 |
| 12 | 등록결정서 | 2011.11.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0677088-15 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5018243-16 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.04.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5049934-62 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5210941-09 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345159920 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-00299 |
| 연구과제명 | 바텔 연구소 유치 활용을 통한 급성 호흡기 감염 및 중증 패혈증 조기진단용 나노바이오 시스템 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 고려대학교 산학협력단 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200907~201206 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | BT(생명공학기술) |
| 과제고유번호 | 1345165219 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R32-2011-000-10082-0 |
| 연구과제명 | 플렉서블 나노시스템 기반기술 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 고려대학교 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200812~201308 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345096808 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과C6A1602 |
| 연구과제명 | BK21정보기술사업단 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 고려대학교 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200603~201302 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
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