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광기전력 장치 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015113654
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요약 본 발명의 광기전력 장치의 제조 방법은 트렌치들이 형성된 기판을 준비하는 단계, 상기 기판상에 제1 전극층과, 상기 제1 전극층보다 작은 전기 저항을 지니고 상기 제1 전극층의 일부 영역과 접촉하며 상기 제1 전극층의 위 또는 밑에 위치하도록 보조 전극층을 형성하되, 상기 제1 전극층 및 상기 보조 전극층이 상기 트렌치들 내부에서 단절되게 형성하는 단계, 상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층 상에 광전변환층을 형성하는 단계, 상기 광전변환층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계, 상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층이 노출되도록 상기 트렌치들 내부에 형성된 광전변환층을 식각하는 단계 및 상기 영역들 중 빛에 의하여 전기가 생성되는 하나의 영역에 형성된 상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층과, 빛에 의하여 전기가 생성되는 다른 하나의 영역에 형성된 상기 제2 전극층이 상기 트렌치 내부에서 전기적으로 연결되도록 제3 도전성 물질을 상기 제2 전극층 상에 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계를 포함한다.광기전력, 보조 전극, 제1 전극층
Int. CL H01L 31/042 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020090072353 (2009.08.06)
출원인 한국철강 주식회사, 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1112487-0000 (2012.01.30)
공개번호/일자 10-2011-0014811 (2011.02.14) 문서열기
공고번호/일자 (20120309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.08.06)
심사청구항수 41

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국철강 주식회사 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임굉수 대한민국 대전 유성구
2 전진완 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국철강 주식회사 경상남도 창원시 성산구
2 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0481020-20
2 보정요구서
Request for Amendment
2009.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0058840-24
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0571316-73
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0601438-83
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5148637-13
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0119026-52
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0323266-31
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0323267-87
9 등록결정서
Decision to grant
2011.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0624757-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
트렌치들이 형성된 기판을 준비하는 단계;상기 기판상에 제1 전극층과, 상기 제1 전극층보다 작은 전기 저항을 지니고 상기 제1 전극층의 일부 영역과 접촉하며 상기 제1 전극층의 위 또는 밑에 위치하도록 보조 전극층을 형성하되, 상기 제1 전극층 및 상기 보조 전극층이 상기 트렌치들 내부에서 단절되게 형성하는 단계;상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층 상에 광전변환층을 형성하는 단계;상기 광전변환층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계;상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층이 노출되도록 상기 트렌치들 내부에 형성된 광전변환층을 식각하는 단계; 및상기 영역들 중 빛에 의하여 전기가 생성되는 하나의 영역에 형성된 상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층과, 빛에 의하여 전기가 생성되는 다른 하나의 영역에 형성된 상기 제2 전극층이 상기 트렌치 내부에서 전기적으로 연결되도록 제3 도전성 물질을 상기 제2 전극층 상에 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계를 포함하는 광기전력 장치의 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제2 전극층을 마스크로 사용하여 상기 광전변환층을 식각하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 트렌치는 소정 각도만큼 기울어진 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의제조 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 광전변환층을 식각한 후 상기 트렌치들 중 하나의 트렌치와 인접한 또다른 트렌치 상에 절연물질을 매립하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 광전변환층 내부에 절연성 물질 또는 도전성 물질로 이루어진 중간층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 트렌치들 중 인접한 일부 트렌치들 사이의 간격은 유효 영역에 해당되는 인접 트렌치들 사이의 간격보다 좁은 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 기판은 유리기판이나 플라스틱기판 또는 나노 복합체 기판 중 어느 하나이며, 상기 유리기판, 상기 플라스틱기판 또는 상기 나노 복합체 기판을 용융시킨 상태에서, 상기 유리기판이나 상기 플라스틱기판 또는 상기 나노 복합체 기판 등이 굳기 전에 엠보싱 가공으로 상기 트렌치를 형성하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 기판은 유리기판이나 플라스틱기판 또는 나노 복합체 기판 중 어느 하나이며, 상기 유리기판이나 플라스틱기판 또는 나노 복합체 기판에 핫-엠보싱법으로 상기 트렌치를 형성하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 기판은 유리 및 상기 유리 상에 코팅된 플라스틱을 포함하거나, 상기 유리 상에 코팅된 나노 복합체 재질의 박막을 포함하며, 핫 엠보싱법을 사용하여 상기 플라스틱 또는 상기 나노 복합체 재질의 박막에 트렌치들을 형성하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
10 10
제 1 항에 있어서,상기 기판은 유리 및 상기 유리 상에 코팅된 플라스틱을 포함하거나, 상기 유리 상에 코팅된 나노 복합체 재질의 박막을 포함하며,상기 유리 상에 상기 플라스틱 또는 상기 나노 복합체 재질의 박막이 코팅되는 과정에서 엠보싱법을 사용하여 상기 플라스틱 또는 상기 나노 복합체 재질의 박막에 트렌치를 형성하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
11 11
제 1 항에 있어서,상기 보조 전극층은 포크, 사다리 또는 메쉬 형상을 지니는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
12 12
제 1 항에 있어서,상기 인접한 트렌치들 사이에 빛이 투과되는 홀이 위치하며, 상기 보조 전극층은 상기 홀들 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
13 13
제 12 항에 있어서,상기 홀의 폭 또는 직경에 대한 깊이의 비는 상기 트렌치의 폭에 대한 깊이의 비보다 큰 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
14 14
제 12 항에 있어서,상기 홀들에 형성된 상기 광전변환층의 식각을 통하여 상기 기판이 노출되는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
15 15
제 1 항에 있어서,제1 도전성 물질을 상기 기판 상에 비스듬히 증착하여 상기 제1 전극층이 형성되는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
16 16
제 1 항에 있어서,상기 제2 도전성 물질이 증착되는 기판 일측의 맞은 편으로부터 단락 방지 물질을 상기 광전변환층 및 상기 제2 전극층 상에 비스듬히 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
17 17
제12항에 있어서,상기 트렌치 또는 상기 홀은 건식 식각 또는 레이저 스크라이빙에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
18 18
기판 상에 서로 인접하도록 소정 두께와 폭을 지닌 제1 전극층들을 형성하는 단계;상기 제1 전극층들과 접촉되도록 상기 제1 전극층보다 작은 전기 저항을 지닌 보조 전극층들을 상기 제1 전극층들의 위 또는 밑에 형성하는 단계;상기 제1 전극층들 또는 상기 보조 전극층들 상의 영역과 상기 인접한 제1 전극층들 사이의 영역에 광전변환층을 형성하는 단계;상기 광전변환층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계;상기 인접한 제2 전극층들 사이의 영역에 위치하며 상기 인접한 제1 전극층들 중 하나와 접촉하는 상기 보조 전극층이 노출되도록 상기 광전변환층을 식각하는 단계; 및상기 노출된 보조 전극층과, 상기 제1 전극층들 중 다른 하나의 제1 전극층 영역에 형성된 상기 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성 물질을 상기 제2 전극층 상에 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계를 포함하는 광기전력 장치의 제조 방법
19 19
제18항에 있어서,상기 제1 전극층은 졸-겔 용액을 이용한 프린팅법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
20 20
제18항에 있어서,상기 제2 전극층을 마스크로 사용하여 상기 광전변환층을 식각하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
21 21
제 18 항에 있어서,상기 광전변환층 내부에 절연성 물질 또는 도전성 물질로 이루어진 중간층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
22 22
제 18 항에 있어서,상기 전체 제1 전극층들 중 일부 제1 전극층의 폭은 유효 영역의 제1 전극층의 폭보다 좁은 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
23 23
제 18 항에 있어서,상기 제2 도전성 물질이 증착되는 기판 일측의 맞은 편으로부터 단락 방지 물질을 상기 광전변환층 및 상기 제2 전극층 상에 비스듬히 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
24 24
제 18 항에 있어서,상기 보조 전극층은 포크, 사다리 또는 메쉬 형상을 지니는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법
25 25
트렌치들이 형성된 기판;상기 트렌치들 사이의 영역들에 형성되는 제1 전극층;상기 트렌치들 사이의 영역들에 형성되며 상기 제1 전극층보다 작은 전기 저항을 지니고 상기 제1 전극층의 일부와 접촉하도록 상기 제1 전극층의 위 또는 밑에 위치하는 보조 전극층;상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층 상에 위치하는 광전변환층;상기 광전변환층 상에 위치하는 제2 전극층; 및상기 영역들 중 빛에 의하여 전기가 생성되는 하나의 영역에 형성된 상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층과, 빛에 의하여 전기가 생성되는 다른 하나의 영역에 형성된 상기 제2 전극층이 상기 트렌치 내부에서 전기적으로 연결되도록 하는 도전층을 포함하는 광기전력 장치
26 26
제 25 항에 있어서,상기 트렌치는 소정 각도만큼 기울어진 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
27 27
제 25 항에 있어서,상기 트렌치들 중 하나의 트렌치와 인접한 또다른 트렌치에 매립된 절연물질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
28 28
제 25 항에 있어서,상기 광전변환층 내부에 절연성 물질 또는 도전성 물질로 이루어진 중간층이 위치하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
29 29
제 25 항에 있어서,상기 트렌치들 중 인접한 일부 트렌치들 사이의 간격은 유효 영역에 해당되는 인접 트렌치들 사이의 간격보다 좁은 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
30 30
제 25 항에 있어서,상기 기판은 유리기판이나 플라스틱기판 또는 나노 복합체 기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
31 31
제 25 항에 있어서,상기 기판은 유리 및 상기 유리 상에 코팅된 플라스틱 재질의 박막을포함하거나, 상기 유리 상에 코팅된 나노 복합체 재질의 박막을 포함하는 것을 특징으로하는 광기전력 장치
32 32
제 25 항에 있어서,인접한 상기 트렌치들 사이에 빛이 투과되는 홀이 위치하며,상기 보조 전극층은 상기 홀들 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
33 33
제 32 항에 있어서,상기 홀의 폭 또는 직경에 대한 깊이의 비는 상기 트렌치의 폭에 대한 깊이의 비보다 큰 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
34 34
제 32 항에 있어서,상기 홀의 밑면이 노출되는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
35 35
제 25 항에 있어서,제2 전극층의 끝단을 덮는 단락 방지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
36 36
제 25 항에 있어서,상기 보조 전극층은 포크, 사다리 또는 메쉬 형상을 지니는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
37 37
기판;상기 기판 상에 서로 인접하도록 위치하며 소정 두께와 폭을 지닌 제1 전극층들;상기 제1 전극층보다 작은 전기 저항을 지니며, 상기 제1 전극층들과 접촉되도록 상기 제1 전극층들의 위 또는 밑에 위치하는 보조 전극층들;상기 제1 전극층들 또는 상기 보조 전극층들 상에 위치하고, 상기 인접한 제1 전극층들 사이의 영역에 위치하는 광전변환층;상기 광전변환층 상에 위치하는 제2 전극층; 및상기 인접한 제1 전극층들 중 하나와 접촉하는 상기 보조 전극층과, 상기 하나의 제1 전극층과 인접한 다른 하나의 제1 전극층 영역에 위치하는 제2 전극층이 상기 제1 전극층들 사이의 영역에서 전기적으로 연결되도록 하는 도전층을 포함하는 광기전력 장치
38 38
제 37 항에 있어서,상기 광전변환층 내부에 절연성 물질 또는 도전성 물질로 이루어진 중간층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
39 39
제 37 항에 있어서,상기 인접한 제1 전극층들 중 하나의 폭은 다른 하나의 제1 전극층의 폭보다 좁은 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
40 40
제 37 항에 있어서,상기 제2 전극층의 끝단을 덮는 단락 방지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
41 41
제 37 항에 있어서,상기 보조 전극층은 포크, 사다리 또는 메쉬 형상을 지니는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치
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4 JP23040746 JP 일본 FAMILY
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6 US20110030777 US 미국 FAMILY

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3 JP2011040746 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP5220069 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 US2011030777 US 미국 DOCDBFAMILY
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