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기계적인 스위치와 ＭＯＳＦＥＴ이 결합된 논리 회로
- 기술번호 : KST2015113313
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 집적도를 향상시키고 정적 전력소모를 줄일 수 있도록 기계적인 스위치와 MOSFET을 결합하여 구현한 논리회로에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로는 기판, 상기 기판 내부에 서로 이격되어 형성되고 적어도 일부가 상기 기판 외부로 노출된 소오스 및 드레인, 상기 기판상에 형성된 게이트 절연막, 및 상기 게이트 절연막상에 형성된 게이트를 포함하는 MOFSET; 및 상기 소오스와 전기적으로 접속된 제1 전극, 상기 드레인과 전기적으로 접속된 제2 전극, 상기 게이트의 상부에 몸통부의 적어도 일부가 위치하고 일단이 상기 기판에 고정되며 타단이 상기 제2 전극의 상부에 위치하는 이동전극을 포함하는 기계적인 스위치를 포함한다. 기계적인 스위치는 게이트 전극에 의해 발생하는 정전기력에 따라 정전 구동(기계적인 동작)을 하고 MOS 트랜지스터는 게이트에 의해 발생하는 전기장(field)에 따라 채널을 형성(전기적인 동작)을 한다. MEMS, 집적회로, 논리회로 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/82 (2006.01) H01L 29/78 (2006.01) |
| CPC | H03K 19/215(2013.01) H03K 19/215(2013.01) H03K 19/215(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090000079 (2009.01.02) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1042937-0000 (2011.06.14) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0080679 (2010.07.12) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110620) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.01.02) |
| 심사청구항수 | 16 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 윤준보 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 송용하 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 이정언 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 4 | 김민우 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김성호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.01.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0000532-92 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.08.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.09.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0058405-61 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.10.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0440088-89 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.11.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0738545-52 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.11.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0738547-43 |
| 7 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.05.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0294652-28 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 기판, 상기 기판 내부에 서로 이격되어 형성되고 적어도 일부가 상기 기판 외부로 노출된 소오스 및 드레인, 상기 기판상에 형성된 게이트 절연막, 및 상기 게이트 절연막상에 형성된 게이트를 포함하는 MOFSET; 및 상기 소오스와 전기적으로 접속된 제1 전극, 상기 드레인과 전기적으로 접속된 제2 전극, 상기 게이트의 상부에 몸통부의 적어도 일부가 위치하고 일단이 상기 기판에 고정되며 타단이 상기 제2 전극의 상부에 위치하는 이동전극을 포함하는 기계적인 스위치; 를 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 2 |
2 제1항에 있어서, 상기 기판과 상기 이동전극의 일단 사이에 배치되고, 상기 이동전극의 일단이 고정되는 절연층을 더 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 3 |
3 제1항에 있어서, 상기 이동전극의 타단에 상기 제2 전극을 향해 돌출된 돌출부를 더 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 4 |
4 제1항에 있어서, 상기 기계적인 스위치는, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극의 사이이자 상기 이동 전극의 하부에 위치하고, 상기 게이트와 전기적으로 접속된 게이트 전극을 더 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 5 |
5 제1 기판, 상기 기판 내부에 서로 이격되어 형성되고 적어도 일부가 상기 제1 기판 외부로 노출된 제1 소오스 및 제1 드레인, 상기 제1 기판상에 형성된 제1 게이트 절연막, 및 상기 제1 게이트 절연막상에 형성된 제1 게이트를 포함하는 제1 MOFSET; 제2 기판, 상기 제2 기판 내부에 서로 이격되어 형성되고 적어도 일부가 상기 제2 기판 외부로 노출된 제2 소오스 및 제2 드레인, 상기 제2 기판상에 형성된 제2 게이트 절연막, 및 상기 제2 게이트 절연막상에 형성된 제2 게이트를 포함하는 제2 MOFSET; 상기 제1 소오스와 전기적으로 접속된 제 1-1 전극, 상기 제1 드레인과 전기적으로 접속된 제1-2 전극, 상기 제1 게이트의 상부에 몸통부의 적어도 일부가 위치하고 일단이 상기 제1 기판에 고정되며 타단이 상기 제1-1 전극의 상부에 위치하는 제1 이동전극을 포함하는 제1 기계적인 스위치; 및 상기 제2 소오스와 전기적으로 접속된 제2-1 전극, 상기 제2 드레인과 전기적으로 접속된 제2-2 전극, 상기 제2 게이트의 상부에 몸통부의 적어도 일부가 위치하고 일단이 상기 제2 기판에 고정되며 타단이 상기 제1 이동전극의 일단 상부에 위치하는 제2 이동전극을 포함하는 제2 기계적인 스위치; 를 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 6 |
6 제5항에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제1 이동전극의 일단 사이에 배치되고, 상기 제1 이동전극의 일단이 고정되는 제1 절연층; 및 상기 제2 기판과 상기 제2 이동전극의 일단 사이에 배치되고, 상기 제2 이동전극의 일단이 고정되는 제2 절연층을 더 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 7 |
7 제5항에 있어서, 상기 제1 이동전극의 타단에 상기 제1-1 전극을 향해 돌출된 돌출부; 및 상기 제2 이동전극의 타단에 상기 제1 이동전극의 일단을 향해 돌출된 돌출부를 더 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 8 |
8 제5항에 있어서, 상기 제1 기계적인 스위치는, 상기 제1-1 전극과 상기 제1-2 전극의 사이이자 상기 제1 이동 전극의 하부에 위치하고, 상기 제1 게이트와 전기적으로 접속된 제1 게이트 전극을 더 포함하고 상기 제2 기계적인 스위치는, 상기 제2-1 전극과 상기 제2-2 전극의 사이이자 상기 제2 이동 전극의 하부에 위치하고, 상기 제2 게이트와 전기적으로 접속된 제2 게이트 전극을 더 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 9 |
9 제5항에 있어서, 상기 제1 기계적인 스위치의 제1-1 전극은 상기 제2 기계적인 스위치의 제2-1 전극과 전기적으로 접속되고, 상기 제1 기계적인 스위치의 제1-2 전극은 상기 제2 기계적인 스위치의 제2-2 전극과 전기적으로 접속된, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 10 |
10 제5항에 있어서, 상기 제1 기계적인 스위치의 제1-1 전극은 상기 제2 기계적인 스위치의 제2-2 전극과 전기적으로 접속되고, 상기 제1 기계적인 스위치의 제1-2 전극은 상기 제2 기계적인 스위치의 제2-1 전극과 전기적으로 접속된, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 11 |
11 제1 기판, 상기 기판 내부에 서로 이격되어 형성되고 적어도 일부가 상기 제1 기판 외부로 노출된 제1 소오스 및 제1 드레인, 상기 제1 기판상에 형성된 제1 게이트 절연막, 및 상기 제1 게이트 절연막상에 형성된 제1 게이트를 포함하는 제1 MOFSET; 제2 기판, 상기 제2 기판 내부에 서로 이격되어 형성되고 적어도 일부가 상기 제2 기판 외부로 노출된 제2 소오스 및 제2 드레인, 상기 제2 기판상에 형성된 제2 게이트 절연막, 및 상기 제2 게이트 절연막상에 형성된 제2 게이트를 포함하는 제2 MOFSET; 상기 제1 소오스와 전기적으로 접속된 제1-1 전극, 상기 제1 드레인과 전기적으로 접속된 제1-2 전극, 상기 제1 게이트의 상부에 몸통부의 적어도 일부가 위치하고 일단이 상기 제1 기판에 고정되며 타단이 상기 제1-2 전극의 상부에 위치하는 제1 이동전극을 포함하는 제1 기계적인 스위치; 및 상기 제2 소오스와 전기적으로 접속된 제2-1 전극, 상기 제2 드레인과 전기적으로 접속된 제2-2 전극, 상기 제2 게이트의 상부에 몸통부의 적어도 일부가 위치하고 일단이 상기 제2 기판에 고정되며 타단이 상기 제1-2 전극의 상부에 위치하는 제2 이동전극을 포함하는 제2 기계적인 스위치; 를 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 12 |
12 제11항에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제1 이동전극의 일단 사이에 배치되고, 상기 제1 이동전극의 일단이 고정되는 제1 절연층; 및 상기 제2 기판과 상기 제2 이동전극의 일단 사이에 배치되고, 상기 제2 이동전극의 일단이 고정되는 제2 절연층을 더 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 13 |
13 제11항에 있어서, 상기 제1 이동전극의 타단에 상기 제1-2 전극을 향해 돌출된 제1 돌출부; 및 상기 제2 이동전극의 타단에 상기 제1-2 전극을 향해 돌출된 제2 돌출부 를 더 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 14 |
14 제11항에 있어서, 상기 제1 기계적인 스위치는, 상기 제1-1 전극과 상기 제1-2 전극의 사이이자 상기 제1 이동 전극의 하부에 위치하고, 상기 제1 게이트와 전기적으로 접속된 제1 게이트 전극을 더 포함하고, 상기 제2 기계적인 스위치는, 상기 제2-1 전극과 상기 제2-2 전극의 사이이자 상기 제2 이동 전극의 하부에 위치하고, 상기 제2 게이트와 전기적으로 접속된 제2 게이트 전극을 더 포함하는, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 15 |
15 제11항에 있어서, 상기 제1 기계적인 스위치의 제1-1 전극은 상기 제2 기계적인 스위치의 제2-1 전극과 전기적으로 접속된, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 16 |
16 제11항에 있어서, 상기 제1 기계적인 스위치의 제1-1 전극은 상기 제2 기계적인 스위치의 제2-2 전극과 전기적으로 접속된, 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1042937-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090102 출원 번호 : 1020090000079 공고 연월일 : 20110620 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110531 청구범위의 항수 : 16 유별 : H01L 29/78 발명의 명칭 : 기계적인 스위치와 ＭＯＳＦＥＴ이 결합된 논리 회로 존속기간(예정)만료일 : 20170615 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 334,500 원 | 2011년 06월 15일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 392,000 원 | 2014년 05월 21일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 274,400 원 | 2015년 05월 26일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 274,400 원 | 2016년 05월 26일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.01.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0000532-92 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.08.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2010.09.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0058405-61 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2010.10.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0440088-89 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.11.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0738545-52 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.11.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0738547-43 |
| 7 | 등록결정서 | 2011.05.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0294652-28 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345156869 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2010-0009901 |
| 연구과제명 | 플렉시블 투명 디스플레이 용 MEMS 스위칭 소자 특성 개선 연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200709~201602 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
| 과제고유번호 | 1415115198 |
|---|---|
| 세부과제번호 | C1080-1101-0001 |
| 연구과제명 | KAIST-ICU 통합지원(ICC 교육여건 개선) |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 정보통신산업진흥원 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200903~201112 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1345097648 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과C6A1611 |
| 연구과제명 | 전자통신기술사업단 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200603~201302 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
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