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몰드 제조 방법 및 그 몰드를 이용한 광기전력 장치의 제조 방법
- 기술번호 : KST2015113633
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 본 발명의 몰드 제조 방법은 특정 파장을 지닌 레이저에 의하여 제거되지 않는 재질을 포함하는 몰드 제조용 기판이 준비되는 단계, 상기 몰드 제조용 기판 상에 상기 레이저에 의하여 제거되는 물질을 포함하는 몰드 제조용 레이어를 형성하는 단계, 상기 몰드 제조용 레이어에 상기 레이저를 조사하여 상기 몰드 제조용 레이어에 몰드 제조용 홈을 형성하는 단계, 몰드용 레이어가 상기 몰드 제조용 홈을 덮는 단계 및 상기 몰드 제조용 기판 및 상기 몰드 제조용 레이어를 제거하여 몰드를 형성하는 단계를 포함한다.몰드, 광기전력 장치, 트렌치 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01) |
| CPC | H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090045802 (2009.05.26) |
| 출원인 | 한국철강 주식회사, 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1188278-0000 (2012.09.27) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0127380 (2010.12.06) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20121008) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | 심판사항 |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.05.26) |
| 심사청구항수 | 29 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국철강 주식회사 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
| 2 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 임굉수 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 전진완 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김성호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국철강 주식회사 | 경상남도 창원시 성산구 | |
| 2 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.05.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0314863-19 |
| 2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2009.06.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0037717-80 |
| 3 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2009.07.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0416638-12 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.08.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5150204-36 |
| 5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2009.08.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0484520-62 |
| 6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2009.09.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0552722-17 |
| 7 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2009.09.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0569708-64 |
| 8 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2009.10.07 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2009-0612821-14 |
| 9 | 서류반려이유통지서 Notice of Reason for Return of Document |
2009.10.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0076172-55 |
| 10 | 지분약정 무효처분통지서 Notice for Invalidation of Share Agreement |
2009.10.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0076187-39 |
| 11 | [출원인지분변경]권리관계변경신고서 [Applicant Share Change] Report on Change of Proprietary Status |
2009.10.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0631102-06 |
| 12 | 서류반려통지서 Notice for Return of Document |
2009.11.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0089757-58 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.08.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5148637-13 |
| 14 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.01.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0002526-69 |
| 15 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.03.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0154146-41 |
| 16 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2011.06.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0303478-92 |
| 17 | 심사관의견요청서 Request for Opinion of Examiner |
2011.09.06 | 수리 (Accepted) | 7-8-2011-0024160-13 |
| 18 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.07.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0430162-50 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 22 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 23 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 24 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 25 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 특정 파장을 지닌 레이저에 의하여 제거되지 않는 재질을 포함하는 몰드 제조용 기판이 준비되는 단계;상기 몰드 제조용 기판 상에 상기 레이저에 의하여 제거되는 물질을 포함하는 몰드 제조용 레이어를 형성하는 단계;상기 몰드 제조용 레이어에 상기 레이저를 조사하여 상기 몰드 제조용 레이어에 몰드 제조용 홈을 형성하는 단계;몰드용 레이어가 상기 몰드 제조용 홈를 덮는 단계; 및상기 몰드 제조용 기판 및 상기 몰드 제조용 레이어를 제거하여 몰드를 형성하는 단계를 포함하는 몰드 제조 방법 |
| 2 |
2 제1항에 있어서,상기 몰드 제조용 기판은 유리 또는 투명 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 3 |
3 제1항에 있어서,상기 몰드 제조용 레이어는 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 4 |
4 제1항에 있어서,상기 몰드 제조용 홈의 밑면은 평평한 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 5 |
5 제1항에 있어서,상기 몰드 제조용 홈의 측면은 상기 몰드 제조용 홈의 밑면에 수직한 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 6 |
6 제1항 또는 제5항에 있어서,상기 몰드 제조용 홈은 액체 젯 안으로 투사되는 레이저 또는 호모지나이저를 통과한 레이저에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 7 |
7 제1항에 있어서,상기 몰드는 몰드 제조용 홈에 의하여 형성된 돌출부를 포함하며,상기 인접한 돌출부들 사이의 영역에는 요철이 형성되는 것을 특징으로 하는 몰즈 제조 방법 |
| 8 |
8 특정 파장을 지닌 레이저에 의하여 제거되지 않는 재질을 포함하는 몰드 제조용 기판이 준비되는 단계;상기 몰드 제조용 기판 상에 상기 레이저에 의하여 제거되는 물질을 포함하는 복수의 몰드 제조용 레이어를 형성하며, 상기 복수의 몰드 제조용 레이어 중 하나의 몰드 제조용 레이어를 다른 하나의 몰드 제조용 레이어의 일부 상에 형성하는 단계;상기 몰드 제조용 레이어에 상기 레이저를 조사하여 상기 복수의 몰드 제조용 레이어를 관통하는 몰드 제조용 홈과 상기 하나의 몰드 제조용 레이어를 관통하는 몰드 제조용 홈을 형성하는 단계;몰드용 레이어가 상기 몰드 제조용 홈들을 덮는 단계; 및상기 몰드 제조용 기판 및 상기 복수의 몰드 제조용 레이어를 제거하여 몰드를 형성하는 단계를 포함하는 몰드 제조 방법 |
| 9 |
9 제8항에 있어서,상기 복수의 몰드 제조용 레이어는 서로 다른 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 10 |
10 제8항에 있어서,상기 몰드 제조용 기판은 유리 또는 투명 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 11 |
11 제8항에 있어서,상기 복수의 몰드 제조용 레이어는 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 12 |
12 제8항에 있어서,상기 몰드 제조용 홈들의 밑면은 평평한 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 13 |
13 제8항에 있어서,상기 몰드 제조용 홈들의 측면은 상기 몰드 제조용 홈들의 밑면에 수직한 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 14 |
14 제8항 또는 제13항에 있어서,상기 몰드 제조용 홈들은 액체 젯 안으로 투사되는 레이저 또는 호모지나이저를 통과한 레이저에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 15 |
15 제1 파장을 지닌 레이저 및 제2 파장을 지닌 레이저에 의하여 제거되지 않는 재질을 포함하는 몰드 제조용 기판이 준비되는 단계;상기 몰드 제조용 기판 상에 복수의 몰드 제조용 레이어를 형성하는 단계;상기 제1 파장을 지닌 레이저를 조사하여 상기 복수의 몰드 제조용 레이어를 제거하여 제1 몰드 제조용 홈을 형성하고, 상기 제2 파장을 지닌 레이저를 조사하여 상기 복수의 몰드 제조용 레이어 중 하나의 몰드 제조용 레이어 상에 형성된 다른 하나를 제거하여 제2 몰드 제조용 홈을 형성하는 단계;몰드용 레이어가 상기 제1 및 제2 몰드 제조용 홈들을 덮는 단계; 및상기 몰드 제조용 기판 및 상기 복수의 몰드 제조용 레이어를 제거하여 몰드를 형성하는 단계를 포함하는 몰드 제조 방법 |
| 16 |
16 제15항에 있어서,상기 제1 파장은 1064nm이고, 상기 제2 파장은 532nm인 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 17 |
17 제15항에 있어서,상기 제1 파장의 레이저 및 상기 제2 파장의 레이저는 동일한 레이저 장치로부터 출력되는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 18 |
18 제15항에 있어서,상기 제1 파장의 레이저 및 상기 제2 파장의 레이저는 서로 다른 레이저 장치로부터 출력되는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 19 |
19 제15항에 있어서,상기 하나의 몰드 제조용 레이어와 상기 다른 하나의 몰드 제조용 레이어는 서로 다른 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 20 |
20 제15항에 있어서,상기 몰드는 상기 제1 몰드 제조용 홈 및 상기 제2 몰드 제조용 홈에 의하여 형성된 제1 돌출부 및 제2 돌출부를 포함하며,상기 제2 돌출부의 밑면에 요철이 형성되는 것을 특징으로 하는 몰드 제조 방법 |
| 21 |
21 특정 파장을 지닌 레이저에 의하여 제거되지 않는 재질을 포함하는 몰드 제조용 기판 상에 상기 레이저에 의하여 제거되는 물질을 포함하는 몰드 제조용 레이어를 형성하고, 상기 몰드 제조용 레이어에 상기 레이저를 조사하여 몰드 제조용 홈을 형성한 후, 상기 몰드 제조용 홈를 덮는 몰드용 레이어에 의하여 형성된 몰드를 준비하는 단계;상기 몰드가 기판을 눌러 제1 홈 및 제2 홈을 형성하는 단계;상기 기판 상에 제1 도전성 물질을 상기 기판 윗면에 대하여 제1 각도만큼 비스듬히 증착하여 제1 전극층을 형성하는 단계; 상기 기판 및 상기 제1 전극층 상에 빛을 전기로 변환하는 광전변환층을 형성하는 단계; 상기 광전변환층상에 제2 도전성물질을 상기 기판 윗면에 대하여 제2 각도만큼 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계; 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈 내부의 상기 광전변환층을 식각하는 단계;태양 전지 셀들이 직렬 연결되도록 상기 제1 홈 내부의 상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전 물질을 상기 기판 윗면에 대하여 제3 각도만큼 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계를 포함하는 광기전력 장치의 제조 방법 |
| 22 |
22 제21항에 있어서,상기 제1 홈은 트렌치 형상을 지니고, 상기 제2 홈은 빛이 투과되는영역에 해당되는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법 |
| 23 |
23 제21항에 있어서,상기 몰드는 가열된 유리 기판 또는 폴리머 기판을 눌러 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법 |
| 24 |
24 제21항에 있어서,상기 몰드는 받침대 위에 UV 경화성 액상 유리 또는 액상 폴리머가 흘려오면 UV가 투사되어 UV 경화성 폴리머가 경화되는 과정 중에 상기 폴리머에 상기 제1 및 상기 제2 홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법 |
| 25 |
25 제21항에 있어서,상기 몰드는 롤러의 표면에 부착되고, 상기 롤러에 부착된 상기 몰드가 상기 기판을 눌러 상기 제1 홈과 상기 제2 홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법 |
| 26 |
26 제21항에 있어서,상기 제2 홈의 폭은 상기 제1 홈의 폭보다 작고, 상기 제2 홈의 깊이는 상기 제1 홈의 깊이와 같은 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법 |
| 27 |
27 제21항에 있어서,상기 광전변환층의 식각에 의하여 상기 제2 홈의 내부의 기판이 노출되는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법 |
| 28 |
28 제21항에 있어서,상기 식각 과정에서 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈 내부의 상기 제2 전극층은 상기 광전변환층의 식각을 위한 마스크로 사용되는 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법 |
| 29 |
29 제21항에 있어서,상기 제1 홈의 폭에 대한 깊이의 비는 상기 제2 홈의 폭에 대한 깊이의 비보다 큰 것을 특징으로 하는 광기전력 장치의 제조 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
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- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1188278-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090526 출원 번호 : 1020090045802 공고 연월일 : 20121008 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20120726 청구범위의 항수 : 29 유별 : H01L 31/18 발명의 명칭 : 몰드 제조 방법 및 그 몰드를 이용한 광기전력 장치의 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : 20160928 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
| 1 |
(권리자) 한국철강 주식회사 경상남도 창원시 성산구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 1,176,000 원 | 2012년 09월 28일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 678,000 원 | 2015년 08월 26일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.05.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0314863-19 |
| 2 | 보정요구서 | 2009.06.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0037717-80 |
| 3 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2009.07.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0416638-12 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.08.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5150204-36 |
| 5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2009.08.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0484520-62 |
| 6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2009.09.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0552722-17 |
| 7 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2009.09.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0569708-64 |
| 8 | [출원서등 보정]보정서 | 2009.10.07 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2009-0612821-14 |
| 9 | 서류반려이유통지서 | 2009.10.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0076172-55 |
| 10 | 지분약정 무효처분통지서 | 2009.10.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0076187-39 |
| 11 | [출원인지분변경]권리관계변경신고서 | 2009.10.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0631102-06 |
| 12 | 서류반려통지서 | 2009.11.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0089757-58 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.08.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5148637-13 |
| 14 | 의견제출통지서 | 2011.01.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0002526-69 |
| 15 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.03.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0154146-41 |
| 16 | 거절결정서 | 2011.06.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0303478-92 |
| 17 | 심사관의견요청서 | 2011.09.06 | 수리 (Accepted) | 7-8-2011-0024160-13 |
| 18 | 등록결정서 | 2012.07.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0430162-50 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 22 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 23 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 24 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 25 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345097648 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과C6A1611 |
| 연구과제명 | 전자통신기술사업단 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200603~201302 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
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| [1020090123979] | 인터넷망에서 유니캐스트/멀티캐스트를 이용한 효율적인 주문형 비디오 서비스 시스템 및 방법 | 새창보기 |
| [1020090123664] | 낮은 위상 변동을 가지는 디지털 감쇠기 | 새창보기 |
| [1020090123031] | 가변 커패시터 및 가변 인덕터 | 새창보기 |
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| [1020090116907] | 도광 플레이트 및 백라이트 유닛 | 새창보기 |
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| 번호 | 심판번호(숫자) | 심판번호(문자) | 사건의표시 | 청구일 | 심결일자 |
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| 1 | 2011101004472 | 2011원4472 | 2009년 특허출원 제0045802호 거절결정불복 | 2011.07.01 | 2012.07.20 |