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마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치
- 기술번호 : KST2015134878
- 담당센터 : 광주기술혁신센터
- 전화번호 : 062-360-4654
| 요약 | 본 발명에서 스위칭 격리도를 향상시킬 수 있는 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치를 개시한다. 본 발명에 따른 스위치는, 상기 고주파 또는 고전력 신호를 전송하기 위한 신호선을 포함하는 RF신호 전송부(RF Transmission Part); 및 상기 RF 신호 전송부의 상측부로 설치되고, 상기 신호들에 대한 스위칭 명령에 응답하여, 상기 신호선의 이격된 위치에서 수평 이송과 수직 이송을 기반으로 상기 신호선을 스위칭하는 구동부로 이루어지고, 구동부는 상기 RF신호 전송부의 상향으로 이격 설치되어, 물리적인 수평 이동과, 상기 정전력 전극과의 전기적 상호 작용에 근거한 수직 이동을 기반으로, 상기 간극을 스위칭하는 구동체; 및 상기 구동체를 수평 이동시키기 위한 고정체로 이루어진다. 따라서, 본 발명은 스위치의 접촉부를 수평 및 수직 이동시켜 전송선과 연결토록 함에 따라, 고주파 대역에서 높은 격리도를 보유할 수 있을 뿐만 아니라, 높은 전력(power)를 갖는 신호 스위칭이 가능한 효과가 있다. MEMS, RF, 스위치, 격리도, 고주파, 고전력, 신호, 대변위 빗 모양 |
|---|---|
| Int. CL | H01H 59/00 (2006.01.01) H01H 36/00 (2006.01.01) B81B 7/02 (2017.01.01) |
| CPC | H01H 59/00(2013.01) H01H 59/00(2013.01) H01H 59/00(2013.01) H01H 59/00(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020080136683 (2008.12.30) |
| 출원인 | 전북대학교산학협력단, 서울대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1030549-0000 (2011.04.14) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0078424 (2010.07.08) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110421) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | 심판사항 |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.12.30) |
| 심사청구항수 | 6 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 전북대학교산학협력단 | 대한민국 | 전라북도 전주시 덕진구 |
| 2 | 서울대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김정무 | 대한민국 | 전라북도 전주시 덕진구 |
| 2 | 김용권 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
| 3 | 장윤호 | 대한민국 | 서울특별시 동작구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이은철 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소) |
| 2 | 유완식 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, **층 *T 국제특허법률사무소 (역삼동, 여삼빌딩)(*T국제특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 전북대학교산학협력단 | 대한민국 | 전라북도 전주시 덕진구 |
| 2 | 서울대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.12.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0904077-32 |
| 2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2009.01.02 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0000021-66 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2009.02.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0064858-48 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2009.07.06 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2009.08.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0046327-58 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.10.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0469786-52 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.12.21 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0843636-49 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.12.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0843632-67 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.12.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5245806-20 |
| 10 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2011.02.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0065880-16 |
| 11 | 명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2011.02.11 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2011-0005406-52 |
| 12 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.03.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0164252-19 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.09.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5195109-43 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.10.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5206243-46 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2016.01.29 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5013206-34 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.02.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5038917-11 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 22 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.07.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5146985-61 |
| 23 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.07.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5146986-17 |
| 24 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 25 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.10.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5219602-91 |
| 26 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.07.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5149086-79 |
| 27 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5265458-48 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 고주파, 고전력 스위칭을 위한 RF MEMS 스위치에 있어서, 상기 고주파 또는 고전력 신호를 전송하기 위한 신호선을 포함하는 RF신호 전송부(RF Transmission Part); 및 상기 RF 신호 전송부의 상측부에 설치되고, 상기 신호들에 대한 스위칭 명령에 응답하여, 상기 신호선 자체에 일정부분 이격된 위치에서 수평 이송과 수직 이송을 기반으로 상기 신호선을 스위칭하는 구동부;를 포함하되, 상기 RF신호 전송부는 신호(Signal) 선과 그라운드(Ground) 선이 근접설치되며, 상기 신호선의 중심부로 간극(405)을 형성하고, 상기 구동부는 상기 RF신호 전송부의 상향으로 이격 설치되어, 물리적인 수평 이동과, 정전력 전극(403)과의 전기적 상호 작용에 근거한 수직 이동을 기반으로, 상기 간극(405)을 스위칭하는 구동체, 및 상기 구동체를 수평 이동시키기 위한 고정체로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서, 상기 구동체는 소정 길이의 장방형 구조를 갖는 구동바디(407); 상기 구동바디(407)의 전방으로 연장되고 소정의 탄성을 갖는 수직 탄지부(414)의 종단부에 설치되어 상기 간극(405)을 스위칭하는 접촉부(415); 상기 수직 탄지부(414) 사이에서 상기 정전력 전극(403)에 의한 수직 유동되는 수직구동 전극(413); 상기 구동바디(407)의 중앙부에서 상호 대향되도록 위치하되, 상기 구동바디(407)의 수평 이동에 따른 복원력을 가미시키는 적어도 하나 이상의 수평 탄지부(417); 상기 수평 탄지부(417)의 종단부를 고정시키는 고정부(419); 및 상기 수평 탄지부(417)를 중심으로 상호 대향되고, 상기 구동바디(407)의 X축을 중심으로 대칭되도록 상기 구동바디(407)로부터 수직 연장되는 구동전극(409)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치 |
| 4 |
4 제 3 항에 있어서, 상기 접촉부(415)는 상기 구동바디(407)와 전기적으로 격리되는 것을 특징으로 하는 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치 |
| 5 |
5 제 3 항에 있어서, 상기 고정체는 상기 구동전극(409)을 중심으로 대칭되는 두 개의 대변위 빗 모양 구동기(421)로써, 상기 대변위 빗 모양 구동기(421)는 임의의 형상을 갖는 고정전극(423)과, 상기 구동전극(409)과 수평하도록 상기 고정전극(423)으로부터 연장되는 연장전극(425)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치 |
| 6 |
6 제 5 항에 있어서, 상기 고정체는 상기 연장전극(425)과 구동전극(409) 사이에서 상기 연장전극(425)과 수직하도록 연장되고 소정 거리를 갖고 이격 설치되는 다수의 전극 리브(427)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치 |
| 7 |
7 제 5 항에 있어서, 상기 구동체의 각 구동전극(409)은 전극리브(427)와 교번 되도록 구동리브(411)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1030549-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20081230 출원 번호 : 1020080136683 공고 연월일 : 20110421 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110325 청구범위의 항수 : 6 유별 : H01H 36/00 발명의 명칭 : 마이크로전자기계시스템을 이용한 알에프 스위치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구... |
| 1 |
(권리자) 전북대학교산학협력단 전라북도 전주시 덕진구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 139,500 원 | 2011년 04월 15일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 172,000 원 | 2014년 02월 20일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 120,400 원 | 2015년 04월 09일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 120,400 원 | 2016년 04월 15일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 229,600 원 | 2017년 04월 11일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 164,000 원 | 2018년 04월 11일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 164,000 원 | 2019년 04월 15일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 285,000 원 | 2020년 04월 14일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.12.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0904077-32 |
| 2 | 보정요구서 | 2009.01.02 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0000021-66 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 | 2009.02.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0064858-48 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 | 2009.07.06 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 | 2009.08.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0046327-58 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2010.10.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0469786-52 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.12.21 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0843636-49 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.12.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0843632-67 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.12.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5245806-20 |
| 10 | 거절결정서 | 2011.02.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0065880-16 |
| 11 | 명세서 등 보정서(심사전치) | 2011.02.11 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2011-0005406-52 |
| 12 | 등록결정서 | 2011.03.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0164252-19 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.09.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5195109-43 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.10.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5206243-46 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2016.01.29 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5013206-34 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.02.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5038917-11 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 22 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.07.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5146985-61 |
| 23 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.07.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5146986-17 |
| 24 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 25 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.10.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5219602-91 |
| 26 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.07.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5149086-79 |
| 27 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5265458-48 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345071105 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과06A1604 |
| 연구과제명 | 정보기술사업단 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
| 연구주관기관명 | 서울대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200603~201302 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
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| 1 | 2011101001074 | 2011원1074 | 2008년 특허출원 제0136683호 거절결정불복 | 2011.02.11 | 2011.03.25 |