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복합 이온분석기

  • 기술번호 : KST2014061994
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이온분석기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 입사되는 이온의 물리적 특성(질량, 전하, 운동속도 등)을 이용하여 이온의 성질을 분석하는 이온분석기에 관한 것으로, 본 발명은 이온입사장치, 입사되는 이온의 일부가 부딪히고 일부의 이온은 통과할 수 있도록 형성되며 상기 이온이 부딪히면 섬광을 발산하는 섬광발생부재, 상기 섬광발생부재에서 발산되는 섬광을 이용하여 이온의 특성을 분석하는 제1 이온분석기, 그리고 상기 섬광발생부재를 통과하는 이온의 특성을 분석하는 제2 이온분석기를 포함하는 복합 이온분석기를 제공한다.본 발명에 의할 경우, 이온의 에너지를 측정하는 경우 이온의 비행시간을 이용하여 이를 실시간으로 분석하는 것이 가능한 바, 종래에 비하여 실험시 요구되는 시간을 현저하게 단축시킬 수 있고, 또한 이온의 종류도 분석할 수 있으며, 종래에 비하여 신뢰도가 개선된 측정값을 얻을 수 있다.
Int. CL G01T 5/02 (2006.01) G01T 1/203 (2006.01) G01T 5/00 (2006.01) G01N 27/62 (2006.01)
CPC G01T 5/02(2013.01) G01T 5/02(2013.01)
출원번호/일자 1020080116456 (2008.11.21)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1239870-0000 (2013.02.27)
공개번호/일자 10-2010-0057419 (2010.05.31) 문서열기
공고번호/일자 (20130306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.01.27)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최일우 대한민국 광주광역시 광산구
2 김철민 대한민국 광주광역시 북구
3 유태준 대한민국 광주광역시 광산구
4 김이종 대한민국 대전광역시 중구
5 강승우 대한민국 광주광역시 광산구
6 이종민 대한민국 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0805344-84
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0067593-17
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.07.26 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0632563-91
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.09.03 수리 (Accepted) 9-1-2012-0068474-59
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0526584-87
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2012-0902162-07
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.11.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0902172-53
10 등록결정서
Decision to grant		 2013.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0134420-15
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이온선원에 대하여 일부의 이온만을 선택적으로 통과시키는 제1 통공이 형성된 섬광발생부재;상기 섬광발생부재를 통과하는 이온이 전자기장에 의해 편향되는 거리를 측정하는 톰슨포물선 이온분석기; 및상기 섬광발생부재에 부딪히는 이온에 의해 발생되는 섬광을 이용하여, 이온의 비행시간을 측정하는 이온 비행시간 분석기;를 포함하고,섬광발생부재에 부딪히는 이온에 의해 발생되는 섬광은 상기 섬광발생부재의 후측에 구비되는 반사체에 의해 경로가 전환되어 상기 이온 비행시간 분석기로 유입되는 복합 이온분석기
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 제1 통공을 통과한 이온은 상기 반사체의 내측에 형성되는 제2 통공을 통과하여 상기 톰슨포물선 이온분석기로 유입되는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
5 5
입사되는 이온의 일부가 부딪히고 일부의 이온은 통과할 수 있도록 제1 통공이 형성되며, 상기 이온이 부딪히면 섬광을 발산하는 섬광발생부재;상기 섬광발생부재에서 발산되는 섬광을 이용하여 이온의 특성을 분석하는 제1 이온분석기;상기 섬광발생부재를 통과하는 이온의 특성을 분석하는 제2 이온분석기; 및상기 섬광의 진행 경로를 전환시키는 반사체를 포함하고,상기 섬광은 상기 반사체에 의해 상기 제1 통공을 통과한 이온과 서로 다른 경로를 형성하면서 상기 제1 이온분석기로 입사되는 복합 이온분석기
6 6
삭제
7 7
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8 8
제5항에 있어서,상기 반사체는 이온이 통과할 수 있는 제2 통공을 구비하여, 상기 섬광발생부재의 제1 통공을 통과한 이온이 상기 제2 통공을 거쳐 상기 제2 이온분석기로 입사되는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
9 9
제8항에 있어서,상기 제1 통공 및 제2 통공은 상기 이온이 입사되는 입사부와 나란하게 설치되는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
10 10
제9항에 있어서,상기 제2 이온분석기로 이온이 도달하는 경로를 형성하는 각 구성요소의 정렬상태를 측정할 수 있는 정렬검사장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
11 11
제10항에 있어서,상기 정렬검사장치는 상기 제1통공, 제2 통공 및 상기 입사부의 정렬 상태를 점검하는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
12 12
제10항에 있어서,상기 정렬검사장치는 상기 입사부와 대향되는 위치에 설치되어, 상기 이온이 진행하는 경로를 따라 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
13 13
제9항에 있어서,상기 이온 또는 섬광이 진행하는 경로를 형성하는 각 구성요소들의 위치를 일괄적으로 조절할 수 있는 위치조절장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
14 14
제9항에 있어서,상기 이온 또는 섬광이 진행하는 경로를 형성하는 각 구성요소들의 위치를 개별적으로 조절할 수 있는 위치조절장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
15 15
제5항에 있어서,상기 제1 이온분석기는 이온이 기 설정된 거리를 비행하는데 걸리는 시간을 측정하여 이온의 에너지 스펙트럼을 분석하는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
16 16
제15항에 있어서,상기 제1 이온분석기는 이온이 발생하는 시점부터 상기 섬광발생부재에 도달하는 시간을 측정하는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
17 17
제15항에 있어서,상기 제1 이온분석기는 각각의 섬광을 검출하여 전기적 신호로 변환하는 섬광검출기 및 이온의 비행시간을 측정하는 비행시간 측정장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
18 18
제17항에 있어서,상기 제1 이온분석기는, 상기 각각의 섬광이 상기 섬광발생부재로부터 발산되는 위치에 따라 상기 섬광검출기 상의 서로 다른 위치로 결상시키는 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
19 19
제5항에 있어서,상기 제2 이온분석기는 기 설정된 전기장과 자기장을 통과할 때 이온이 편향되는 양을 측정하여, 상기 이온의 에너지 스펙트럼과 종류를 분석하는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
20 20
제19항에 있어서,상기 제2 이온분석기는 상기 전기장과 자기장으로 유입되는 이온의 공간적인 크기를 제한할 수 있는 콜리메이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 이온분석기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.