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공초점 광학계 및 낮은 결맞음 간섭계를 이용한 시료의 두께 및 굴절률 측정 방법 및 이를 이용한 측정 장치
- 기술번호 : KST2014008141
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 시료의 두께와 굴절률을 동시에 측정하는 방법 및 장치가 개시된다. 제 1 중심 파장을 가지는 광을 이용하여 공초점 광학계를 통해 시료의 두께와 위상 굴절률에 관한 제 1 관계식을 얻고, 제 1 중심 파장을 가지는 광을 이용하여 낮은 결맞음 간섭계를 통해 시료의 두께와 군 굴절률에 관한 제 2 관계식을 얻고, 제 2 중심 파장을 가지는 광을 이용하여, 제 2 중심 파장을 가지는 광을 이용하여 공초점 광학계를 통해 상기 시료의 두께와 위상 굴절률에 관한 제 3 관계식을 얻고, 제 2 중심 파장을 가지는 광을 이용하여 낮은 결맞음 간섭계를 통해 상기 시료의 두께와 군 굴절률에 관한 제 4 관계식을 얻은 다음, 제 1 내지 제 4 관계식을 이용하여, 상기 시료의 두께, 위상 굴절률, 군 굴절률을 구하도록 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 방법을 구성한다. 따라서, 별도의 샘플 홀더를 이용하거나, 위상 굴절률과 군 굴절률을 가정하는 기존의 방법에 비하여 측정 대상 시료에 제한이 없고, 측정 오차가 적은 측정 방법 및 이를 이용한 장치를 구성할 수 있다. 공초점, 결맞음, 굴절률, 두께, 측정 |
|---|---|
| Int. CL | G01B 11/06 (2006.01) G02B 21/00 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) |
| CPC | G01B 11/0675(2013.01) G01B 11/0675(2013.01) G01B 11/0675(2013.01) G01B 11/0675(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020080035151 (2008.04.16) |
| 출원인 | 하나기술(주) |
| 등록번호/일자 | 10-0960349-0000 (2010.05.20) |
| 공개번호/일자 | 10-2009-0078296 (2009.07.17) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20100528) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 |
대한민국 | 1020080004137 | 2008.01.14
|
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.04.16) |
| 심사청구항수 | 15 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 하나기술(주) | 대한민국 | 서울 서초구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이병하 | 대한민국 | 광주 북구 |
| 2 | 김석한 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
| 3 | 나지훈 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
| 4 | 김명진 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김희곤 | 대한민국 | 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소) |
| 2 | 김인한 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원) |
| 3 | 박용순 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 법원로*길 **, **층 D-****호(문정동)(주심국제특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 하나기술(주) | 대한민국 | 서울특별시 서초구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.04.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0270571-37 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2009.01.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2009.02.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0009322-18 |
| 4 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2010.01.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0043675-77 |
| 5 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2010.01.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0055214-79 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.02.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5023825-47 |
| 7 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.02.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0074591-03 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.10.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-0049758-59 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.11.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5141898-42 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 공초점 광학계와 낮은 결맞음 간섭계를 이용하여 시료의 두께와 굴절률을 동시에 측정하는 방법에 있어서, 제 1 중심 파장(, 중심 각주파수 )을 가지는 광을 이용하여, 상기 공초점 광학계를 통해서 상기 시료의 두께()와 위상 굴절률에 관한 제 1 관계식을 얻는 단계; 상기 제 1 중심 파장을 가지는 광을 이용하여, 상기 낮은 결맞음 간섭계를 통해서 상기 시료의 두께()와 군 굴절률에 관한 제 2 관계식을 얻는 단계; 상기 제 1 중심 파장과 다른 제 2 중심 파장(, 중심 각주파수 )을 가지는 광을 이용하여, 상기 공초점 광학계를 통해서 상기 시료의 두께()와 위상 굴절률에 관한 제 3 관계식을 얻는 단계; 상기 제 2 중심 파장을 가지는 광을 이용하여, 상기 낮은 결맞음 간섭계를 통해서 상기 시료의 두께()와 군 굴절률에 관한 제 4 관계식을 얻는 단계 및 상기 제 1 내지 제 4 관계식을 이용하여, 상기 시료의 두께(), 위상 굴절률, 군 굴절률을 구하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 시료의 두께와 위상 굴절률에 관한 제 1 관계식을 얻는 단계는, 상기 제 1 중심 파장을 가지는 광이 상기 시료를 구성하는 양 경계면 상에서 반사되어 반사된 광 파워가 최대가 되는 양 시점에서 상기 공초점 광학계를 구성하는 대물렌즈와 상기 시료간의 거리 차이()를 이용하여, 하기 수학식 1로 표현되는 상기 시료의 두께()와 위상 굴절률()에 관한 관계식을 구하는 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 방법 |
| 3 |
3 제 2 항에 있어서, 상기 시료의 두께와 군 굴절률에 관한 제 2 관계식을 얻는 단계는, 상기 제 1 중심 파장을 가지는 광이 상기 시료를 구성하는 양 경계면 상에서 반사되어 반사된 광 파워가 최대가 될 때, 상기 낮은 결맞음 간섭계를 구성하는 기준거울 상에 간섭무늬가 검출되는 지점에서 기준 거울의 거리차이()를 이용하여, 하기 수학식 2로 표현되는 상기 시료의 두께()와 군 굴절률()에 관한 관계식을 구하는 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 방법 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서, 상기 시료의 두께와 위상 굴절률에 관한 제 3 관계식을 얻는 단계는, 상기 제 2 중심 파장을 가지는 광이 상기 시료를 구성하는 양 경계면 상에서 반사되어 반사된 광 파워가 최대가 되는 양 시점에서 상기 공초점 광학계를 구성하는 대물렌즈와 상기 시료간의 거리 차이()를 이용하여, 하기 수학식 3으로 표현되는 상기 시료의 두께()와 위상 굴절률()에 관한 관계식을 구하는 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 방법 |
| 5 |
5 제 4 항에 있어서, 상기 시료의 두께와 군 굴절률에 관한 제 4 관계식을 얻는 단계는, 상기 제 2 중심 파장을 가지는 광이 상기 시료를 구성하는 양 경계면 상에서 반사되어 반사된 광 파워가 최대가 될 때, 상기 낮은 결맞음 간섭계를 구성하는 기준거울 상에 간섭무늬가 검출되는 지점에서 기준 거울의 거리차이()를 이용하여, 하기 수학식 2로 표현되는 상기 시료의 두께()와 군 굴절률()에 관한 관계식을 구하는 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 방법 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 내지 제 4 관계식을 이용하여, 상기 시료의 두께, 위상 굴절률, 군 굴절률을 구하는 단계는, 하기 수학식 5로 표현되는 위상 굴절률과 군 군절률 간의 관계를 이용하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 방법 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 내지 제 4 관계식을 이용하여, 상기 시료의 두께, 위상 굴절률, 군 굴절률을 구하는 단계는, 하기 수학식 6으로 표현되는 시료의 분산파라미터()를 구하고, 하기 수학식 7을 이용하여 시료의 위상 굴절률을 구하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 방법 |
| 8 |
8 두 가지 이상의 중심 파장을 가지는 광을 발생시키는 광 발생부; 상기 광발생부에서 발생된 광을 분배하는 광 분배부; 상기 광분배부에서 분배된 광을 상기 시료에 조사하는 대물렌즈; 상기 대물렌즈와 상기 시료간의 거리를 조절할 수 있도록 상기 대물렌즈 및/또는 상기 시료를 이송시키고, 상기 대물렌즈와 상기 시료간의 거리를 측정하는 제 1 측정부; 상기 광분배부에서 분배된 광을 전달받는 기준 거울; 상기 시료로부터 반사된 광과 상기 기준거울로부터 반사된 광의 광경로차를 조절할 수 있도록 상기 기준거울을 이송시키고, 상기 기준거울의 위치를 측정하는 제 2 측정부; 상기 시료로부터 반사된 광 파워 신호와 상기 기준거울의 간섭무늬 신호를 측정하는 신호 검출부; 및 상기 제 1 측정부와 상기 제 2 측정부를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는 상기 제 1 측정부를 통하여 상기 대물렌즈와 상기 시료간의 거리를 조절하면서 상기 신호 검출부에서 검출된 시료로부터 반사된 광 파워 신호를 토대로, 상기 대물렌즈를 통과한 광이 상기 시료의 경계면 상에 초점을 맺는 양 지점에서의 상기 대물렌즈와 상기 시료간의 거리 차이()를 측정하고, 상기 제 2 측정부를 통하여 상기 대물렌즈를 통과한 광이 상기 시료의 경계면 상에 초점을 맺는 양 지점에서, 상기 대물렌즈와 상기 시료의 위치를 고정하고 상기 기준거울을 이송하면서 상기 신호 검출부에서 상기 간섭무늬 신호가 획득되는 기준거울의 위치 차이()를 측정하며, 상기 광발생부를 통하여 서로 다른 중심 주파수를 가지는 광으로 상기 와 을 각각 측정하여, 상기 시료의 물리적 두께, 위상 굴절률 및 군 굴절률을 동시에 측정하는 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 장치 |
| 9 |
9 제 8 항에 있어서, 상기 광발생부는 서로 다른 중심 파장을 가지는 광을 발생시키는 두 개 이상의 광원을 포함하여 구성되는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 장치 |
| 10 |
10 제 8 항에 있어서, 상기 광발생부는 서로 다른 중심 파장을 가지는 광을 발생시키는 적어도 하나의 파장 가변 광원을 포함하여 구성되는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 장치 |
| 11 |
11 제 8 항에 있어서, 상기 신호 검출부는 렌즈; 핀-홀(pin-hole); 및 광 검출기를 포함하여 구성되는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 장치 |
| 12 |
12 제 8 항에 있어서, 상기 신호 검출부는 광섬유용 빔 평행기; 및 광 검출기를 포함하여 구성되는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 장치 |
| 13 |
13 제 8 항에 있어서, 상기 광 발생부와 상기 광분배부, 상기 광 분배부와 상기 대물 렌즈, 상기 광분배부와 상기 기준거울, 상기 광분배부와 상기 신호검출부 간의 광경로를 광섬유를 이용하여 형성하고, 상기 광 분배부는 광섬유형 커플러(coupler)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 장치 |
| 14 |
14 제 8 항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제 1 측정부를 통하여 상기 대물렌즈와 상기 시료간의 거리를 조절하면서 상기 신호 검출부에서 검출된 시료로부터 반사된 광 파워 신호가 실질적으로 최대가 되는 지점들을 이용하여 상기 대물렌즈와 상기 시료간의 거리 차이를 측정하는 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 장치 |
| 15 |
15 제 8 항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제 1 측정부를 통하여 상기 대물렌즈와 상기 시료간의 거리를 조절하면서 상기 신호 검출부에서 검출된 시료로부터 반사된 광 파워 신호의 반치폭의 중심 지점들을 이용하여 상기 대물렌즈와 상기 시료간의 거리 차이를 측정하는 것을 특징으로 하는 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0960349-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20080416 출원 번호 : 1020080035151 공고 연월일 : 20100528 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100222 청구범위의 항수 : 15 유별 : G01B 11/06 발명의 명칭 : 공초점 광학계 및 낮은 결맞음 간섭계를 이용한 시료의두께 및 굴절률 측정 방법 및 이를 이용한 측정 장치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 하나기술(주) 서울특별시 서초구... |
| 2 |
(의무자) 하나기술(주) 서울특별시 서초구... |
| 2 |
(권리자) 하윤홍 경기도 성남시 수정구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 189,000 원 | 2010년 05월 24일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 370,000 원 | 2013년 05월 21일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 305,620 원 | 2014년 11월 21일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 370,000 원 | 2015년 05월 20일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 1,340,000 원 | 2017년 02월 21일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 469,000 원 | 2017년 05월 22일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 335,000 원 | 2018년 05월 18일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 532,500 원 | 2019년 05월 13일 | 납입 |
| 제 11 년분 | 금 액 | 532,500 원 | 2020년 05월 18일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.04.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0270571-37 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2009.01.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2009.02.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0009322-18 |
| 4 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.01.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0043675-77 |
| 5 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2010.01.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0055214-79 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.02.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5023825-47 |
| 7 | 등록결정서 | 2010.02.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0074591-03 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.10.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-0049758-59 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.11.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5141898-42 |
| 기술번호 | KST2014008141 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | |
| 기술명 | 공초점 광학계 및 낮은 결맞음 간섭계를 이용한 시료의 두께 및 굴절률 측정 방법 및 이를 이용한 측정 장치 |
| 기술개요 |
시료의 두께와 굴절률을 동시에 측정하는 방법 및 장치가 개시된다. 제 1 중심 파장을 가지는 광을 이용하여 공초점 광학계를 통해 시료의 두께와 위상 굴절률에 관한 제 1 관계식을 얻고, 제 1 중심 파장을 가지는 광을 이용하여 낮은 결맞음 간섭계를 통해 시료의 두께와 군 굴절률에 관한 제 2 관계식을 얻고, 제 2 중심 파장을 가지는 광을 이용하여, 제 2 중심 파장을 가지는 광을 이용하여 공초점 광학계를 통해 상기 시료의 두께와 위상 굴절률에 관한 제 3 관계식을 얻고, 제 2 중심 파장을 가지는 광을 이용하여 낮은 결맞음 간섭계를 통해 상기 시료의 두께와 군 굴절률에 관한 제 4 관계식을 얻은 다음, 제 1 내지 제 4 관계식을 이용하여, 상기 시료의 두께, 위상 굴절률, 군 굴절률을 구하도록 시료의 두께와 굴절률 동시 측정 방법을 구성한다. 따라서, 별도의 샘플 홀더를 이용하거나, 위상 굴절률과 군 굴절률을 가정하는 기존의 방법에 비하여 측정 대상 시료에 제한이 없고, 측정 오차가 적은 측정 방법 및 이를 이용한 장치를 구성할 수 있다. 공초점, 결맞음, 굴절률, 두께, 측정 |
| 개발상태 | 특허만신청(등록) |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | - |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345073314 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R01-2007-000-20821-0 |
| 연구과제명 | 세포칩분석을위한다차원광학측정방법개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 광주과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200709~201008 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | BT(생명공학기술) |
| 과제고유번호 | 1345084797 |
|---|---|
| 세부과제번호 | gist-08 |
| 연구과제명 | 과학기술응용연구단운영 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 광주과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200501~201412 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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