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알파입자 검출기 및 알파입자 검출기의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015174295
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 알파선의 검출 성능이 향상된 알파입자 검출기가 개시되어 있다. 알파입자 검출기는 기판, 기판의 상부면 상에 위치하는 단일 원자가 도핑된 산화아연 박막 및 기판의 하부면 상에 위치하는 광검출기를 포함한다. 또한, 알파입자 검출기 제조방법은 기판의 상부면 상에 단일 원자가 도핑된 산화아연 박막을 형성하는 단계 및 기판의 하부면 상에 광검출기를 결합하는 단계를 포함한다. 따라서, 박막 형태의 산화아연은 발광 특성이 우수하고 붕괴 시간 상수가 작아 알파입자 검출기의 작동 주파수를 증가시킬 수 있으므로 보다 빠른 검출이 가능하다. 신틸레이터 결정, 알파선 검출기, 산화아연
Int. CL G01T 1/20 (2006.01) G01T 1/202 (2006.01)
CPC G01T 1/2023(2013.01) G01T 1/2023(2013.01)
출원번호/일자 1020080027392 (2008.03.25)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0102133 (2009.09.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.03.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박성주 대한민국 광주광역시 북구
2 최용석 대한민국 광주광역시 북구
3 황대규 대한민국 광주광역시 북구
4 오민석 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0215657-31
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0072855-63
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0021343-66
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0161442-81
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0161787-16
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.04.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0245985-08
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0245983-17
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0374562-37
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0692731-81
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0774450-57
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0774461-59
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0058358-30
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판의 상부면 상에 위치하는 단일 원자가 도핑된 산화아연 박막; 및 상기 기판의 하부면 상에 위치하는 광검출기를 포함하는 알파입자 검출기
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기판은, 사파이어 기판, 산화아연 기판, 질화갈륨 기판 또는 석영 기판인 것을 특징으로 하는 알파입자 검출기
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 단일 원자는 알루미늄(Al), 갈륨(Ga) 또는 인듐(In)인 것을 특징으로 하는 알파입자 검출기
4 4
기판의 상부면 상에 단일 원자가 도핑된 산화아연 박막을 형성하는 단계; 및 상기 기판의 하부면 상에 광검출기를 결합하는 단계를 포함하는 알파입자 검출기 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 단일 원자는 알루미늄(Al), 갈륨(Ga) 또는 인듐(In)인 것을 특징으로 하는 알파입자 검출기 제조방법
6 6
제 4 또는 제 5 항에 있어서, 상기 산화아연 박막은, 스퍼터링증착법, 펄스레이저증착법, 수열합성법, 분자선결정성장시스템 또는 유기금속화학증착법을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 알파입자 검출기 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.