요약 | 본 발명은 발광효율을 향상시킬 수 있는 실리콘 발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 실리콘 발광소자는 발광 영역의 상부표면에 요철이 형성된 실리콘 기판과, 상기 요철이 형성된 실리콘 기판 상에 형성되어 광을 발생시키는 실리콘 발광층과, 상기 실리콘 발광층 상에 형성되어 상기 실리콘 발광층으로 전자를 주입시키는 제1 금속층과, 상기 실리콘 기판 배면에 형성되어 상기 실리콘 기판으로 정공을 주입시키는 제2 금속층을 구비한다. 이러한 구성에 의하여, 본 발명에 따른 실리콘 발광소자 및 그 제조방법은 실리콘 기판 표면에 요철을 형성함으로써 발광층과 금속층 사이의 면적을 증가시킬 수 있어 발광효율을 향상시킬 수 있다. |
---|---|
Int. CL | H01L 33/22 (2014.01) |
CPC | H01L 33/22(2013.01) H01L 33/22(2013.01) H01L 33/22(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020040078688 (2004.10.04) |
출원인 | 광주과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-0693408-0000 (2007.03.05) |
공개번호/일자 | 10-2004-0096871 (2004.11.17) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20070312) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2004.10.04) |
심사청구항수 | 7 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 광주과학기술원 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김백현 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
2 | 박성주 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김영호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층 (삼성동, 감령빌딩)(김영호국제특허법률사무소) |
2 | 황이남 | 대한민국 | 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 광주과학기술원 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 Patent Application |
2004.10.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0449354-30 |
2 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2006.04.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0249465-80 |
3 | 지정기간연장신청서 Request for Extension of Designated Period |
2006.06.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0464570-62 |
4 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2006.07.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2006-0543422-00 |
5 | 의견서 Written Opinion |
2006.07.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0543423-45 |
6 | 등록결정서 Decision to grant |
2006.12.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0776794-13 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.09.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5187089-85 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 발광 영역의 상부표면에 불규칙한 요철이 형성된 실리콘 기판;상기 실리콘 기판의 요철과 대응하여 요철이 형성되고, 상기 실리콘 기판 상부에 형성되는 광을 발생시키는 실리콘 발광층;상기 실리콘 기판의 요철과 대응하여 요철이 형성되고, 실리콘 발광층 상부에 형성되어 상기 실리콘 발광층으로 전자를 주입시키는 제1 금속층과, 상기 실리콘 기판 배면에 형성되어 상기 실리콘 기판으로 정공을 주입시키는 제2 금속층을 구비하는 것을 특징으로 하는 실리콘 발광소자 |
2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 요철은 상기 실리콘 기판의 일부영역에 형성되고, 그 일부영역에 상기 실리콘 발광층과, 상기 제1 금속층이 적층되는 것을 특징으로 하는 실리콘 발광소자 |
3 |
3 실리콘 기판의 발광 영역의 상부표면에 불규칙한 요철을 형성하는 단계;상기 실리콘 기판의 요철과 대응하여 요철이 형성되도록 상기 실리콘 기판 상부에 광을 발생시키는 실리콘 발광층을 형성하는 단계;상기 실리콘 기판의 요철과 대응하여 요철이 형성되도록 실리콘 발광층 상부에 상기 실리콘 발광층으로 전자를 주입시키는 제1 금속층을 형성하는 단계; 및상기 실리콘 기판 배면에 상기 실리콘 기판으로 정공을 주입시키는 제2 금속층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 발광소자의 제조방법 |
4 |
4 제 3 항에 있어서, 상기 요철을 상기 실리콘 기판의 일부영역에 형성되고, 그 일부영역에 상기 실리콘 발광층과, 상기 제1 금속층이 적층되는 것을 특징으로 하는 실리콘 발광소자의 제조방법 |
5 |
5 제 3 항에 있어서,상기 요철은 실온이상의 온도에서 4 wt%이상의 농도에서 KOH용액에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 발광소자의 제조방법 |
6 |
6 제 3 항에 있어서, 상기 요철은 TMAH(Tetramethyl ammonium hydroxide), EDP(Ethylene diamine pyrochatecol) 중 어느 하나의 용액에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 발광소자의 제조방법 |
7 |
7 제 3 항에 있어서,상기 실리콘 발광층의 두께는 20nm 인 것을 특징으로 하는 실리콘 발광소자의 제조방법 |
8 |
7 제 3 항에 있어서,상기 실리콘 발광층의 두께는 20nm 인 것을 특징으로 하는 실리콘 발광소자의 제조방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-0693408-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20041004 출원 번호 : 1020040078688 공고 연월일 : 20070312 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20061227 청구범위의 항수 : 7 유별 : H01L 33/00 발명의 명칭 : 실리콘 발광소자 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20160306 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 광주과학기술원 광주광역시 북구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 229,500 원 | 2007년 03월 06일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2009년 12월 28일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2010년 11월 25일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2011년 12월 19일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 366,000 원 | 2012년 12월 11일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 366,000 원 | 2013년 12월 11일 | 납입 |
제 9 년분 | 금 액 | 366,000 원 | 2014년 12월 18일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 | 2004.10.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0449354-30 |
2 | 의견제출통지서 | 2006.04.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0249465-80 |
3 | 지정기간연장신청서 | 2006.06.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0464570-62 |
4 | 명세서등보정서 | 2006.07.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2006-0543422-00 |
5 | 의견서 | 2006.07.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0543423-45 |
6 | 등록결정서 | 2006.12.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0776794-13 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.09.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5187089-85 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1350023042 |
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세부과제번호 | 2003-02925 |
연구과제명 | 백색광원용나노반도체제어기술개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 광주과학기술원 |
성과제출연도 | 2005 |
연구기간 | 200507~200607 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1355052282 |
---|---|
세부과제번호 | gist-08 |
연구과제명 | 과학기술응용연구단운영 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 과학기술부 |
연구주관기관명 | 광주과학기술원 |
성과제출연도 | 2007 |
연구기간 | 200501~201412 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | 기타 |
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