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고세장비 마이크로채널 가공방법과 그 장치 및 이를 이용한마이크로 히트파이프 제조방법

  • 기술번호 : KST2015174634
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 고세장비(high-aspect-ratio) 마이크로채널 가공방법과 그 장치와 이를 이용한 마이크로 히트파이프 제조방법이 개시된다. 상기 가공방법 및 장치는 에칭용액이 채워진 챔버 내에 가공하고자하는 가공재료박판을 배치하고 그 가공재료박판에 가공하고자하는 경로를 따라 레이저빔을 조사하여 상기 에칭용액에 대한 상기 레이저빔이 조사되는 부위의 상기 가공재료박판의 화학반응을 활성화시켜 상기 레이저빔이 조사되는 부위를 따라 상기 가공재료박판에 마이크로채널이 형성되도록 하는 것으로, 두께가 100 마이크로미터 이상인 금속판에도 폭이 수 마이크로미터 ~ 수십 마이크로미터이고 깊이가 수십 마이크로미터 ~ 수백 마이크로미터인 크기의 마이크로채널을 형성하여 금속구조물을 만들 수 있게 해준다.히트파이프, 열소자, 냉각장치, 마이크로채널, 에칭
Int. CL B23P 15/26 (2006.01)
CPC B23P 15/26(2013.01) B23P 15/26(2013.01) B23P 15/26(2013.01) B23P 15/26(2013.01)
출원번호/일자 1020060002907 (2006.01.10)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0649061-0000 (2006.11.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20061128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.01.10)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정성호 대한민국 광주 광산구
2 오광환 대한민국 광주 북구
3 이민규 대한민국 광주 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박희진 대한민국 서울특별시 송파구 송파대로 ***, 비동 비****호 (문정동, 문정역테라타워)(세기국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0017839-86
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2006-0063516-10
4 등록결정서
Decision to grant		 2006.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0665517-13
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
에칭용액이 채워진 챔버 내에 가공하고자하는 가공재료박판을 배치하고 그 가공재료박판에 가공하고자하는 경로를 따라 레이저빔을 조사하여 상기 에칭용액에 대한 상기 레이저빔이 조사되는 부위의 상기 가공재료박판의 화학반응을 활성화시켜 상기 레이저빔이 조사되는 부위를 따라 상기 가공재료박판에 마이크로채널이 형성되도록 하는 마이크로채널 가공방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 가공재료박판의 두께는 100 마이크로미터 이상이고, 상기 마이크로채널은 그 깊이가 폭의 10배 이상인 고세장비를 가지는 마이크로채널 가공방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 에칭용액을 순환시키는 마이크로채널 가공방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 가공하고자하는 경로를 따라 레이저빔을 반복하여 조사하고, 상기 챔버를 이동시켜 상기 레이저빔이 가공하는 경로를 따라 조사되도록 하는 마이크로채널 가공방법
5 5
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항의 가공방법에 따라 가공된 마이크로채널을 갖는 가공재료박판 2개를 관통구가 뚫린 중간판을 사이에 두고 상기 마이크로채널이 상기 중간판의 관통구를 통해 서로 마주보도록 상기 중간판 양측에 각각 부착하여 히트파이프를 만드는 마이크로 히트파이프 제조방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 2개의 가공재료박판 중 어느 일측의 가공재료박판에 작동유체 주입을 위한 구멍을 내고, 작동유체 주입구를 연결 시 얇은 금속관 또는 유체의 유입이 가시화되도록 유리관 튜브와 같은 유체주입구를 연결하고 진공 처리하는 마이크로 히트파이프 제조방법
7 7
가공재료박판에 마이크로채널을 형성하기 위한 마이크로채널 가공장치에 있어서,에칭용액이 채워진 챔버;상기 챔버 내에 설치되고 상기 가공재료박판을 장착하여 지지할 수 있도록 해주는 지지수단;상기 지지수단에 설치된 가공재료박판으로 레이저빔을 조사하기 위한 레이저빔조사기; 및상기 레이저빔조사기에 대한 상기 가공재료박판의 상대적인 이동경로를 조정하기 위한 이동경로 조정수단을 포함하는 마이크로채널 가공장치
8 8
제 7항에 있어서, 상기 이동경로 조정수단은 상기 챔버에 연결되고 상기 챔버를 필요한 경로로 이송시키기 위한 모터가 장착된 미소이송장치와 상기 모터의 동작을 제어하기 위한 프로그램이 설치된 제어수단을 구비하여 구성된 마이크로채널 가공장치
9 9
제 7항에 있어서, 상기 레이저빔조사기는 레이저빔 발생을 위한 레이저, 상기 발생된 레이저빔의 집속효율을 높이기 위한 빔확대기, 상기 가공재료박판으로 조사된 레이저빔이 상기 가공재료박판에서 반사되어 상기 레이저로 들어가 상기 레이저가 손상되는 것을 방지하고 편광상태에 따른 가공 결과의 변화를 감소시키며 상기 레이저빔을 원형편광으로 만들기 위한 선형편광기와 1/4파장판 및 상기 원형편광의 레이저빔을 상기 가공재료박판 표면에 집속하기 위한 대물렌즈를 구비하여 구성된 마이크로채널 가공장치
10 10
제 9항에 있어서, 상기 빔확대기와 선형편광기 사이에 레이저빔의 경로를 바꿔주기 위한 반사경이 설치되고, 상기 반사경을 사이에 두고 상기 선형편광기 반대편에 상기 가공재료박판의 가공상태를 촬영하여 촬영된 영상신호를 상기 제어수단으로 인가하는 씨씨디 카메라가 설치되고, 상기 제어수단에는 상기 씨씨디 카메라에서 인가된 영상신호를 화면에 표시하기 위한 디스플레이가 연결된 마이크로채널 가공장치
11 11
제 7항에 있어서, 상기 챔버에는 에칭용액의 공급과 가공 중에 발생하는 상기 가공재료박판 주위의 미세기포를 제거하기 위해 상기 챔버 내의 에칭용액을 순환시키기는 펌프를 이용한 에칭용액 순환수단이 설치된 마이크로채널 가공장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.