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습도 센서, 습도 센싱 방법 및 이를 위한 트랜지스터
- 기술번호 : KST2015115481
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명의 습도 센서는 기판에 채널 영역을 사이에 두고 서로 이격되어 형성된 소스 및 드레인, 상기 채널 영역 상부에 형성된 절연층, 및 상기 절연층상에 형성된 게이트를 포함하는 트랜지스터; 상기 게이트에 전하를 충전하는 하는 충전기; 및 상기 게이트에 전하를 충전한 후 소정 시간 동안 상기 트랜지스터의 드레인 전류의 변화량을 측정하는 측정기를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | G01N 27/22 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020110032135 (2011.04.07) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1322354-0000 (2013.10.21) |
| 공개번호/일자 | 10-2012-0114554 (2012.10.17) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20131025) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2011.04.07) |
| 심사청구항수 | 19 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 윤준보 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 양현호 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 송석호 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김성호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.04.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0253519-12 |
| 2 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.10.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0654519-43 |
| 3 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-1087565-76 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.12.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-1087566-11 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0374224-24 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.07.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0690926-44 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.07.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0690924-53 |
| 9 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.08.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0596463-70 |
| 10 | [일부 청구항 포기]취하(포기)서 [Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment) |
2013.10.21 | 수리 (Accepted) | 2-1-2013-0551893-33 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 삭제 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 기판에 채널 영역을 사이에 두고 서로 이격되어 형성된 소스 및 드레인, 상기 채널 영역 상부에 형성된 절연층, 및 상기 절연층상에 형성된 게이트를 포함하는 트랜지스터; 상기 게이트에 전하를 충전하는 하는 충전기; 및 상기 게이트에 전하를 충전한 후 소정 시간 동안 상기 트랜지스터의 드레인 전류의 변화량을 측정하는 측정기를 포함하는 습도 센서 |
| 4 |
4 삭제 |
| 5 |
5 제3항에 있어서, 상기 충전기는 MEMS 스위치인 것을 특징으로 하는 습도 센서 |
| 6 |
6 제3항 또는 제5항에 있어서, 상기 트랜지스터 상에 상기 게이트, 상기 소스 및 상기 드레인을 덮는 소수성층; 및 상기 소수성층에 형성된 관통홀을 통해 상기 게이트와 연결되고 상기 소수성층상에 형성된 전도성 물질층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센서 |
| 7 |
7 제6항에 있어서, 상기 소수성층은 실리콘 질화막을 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센서 |
| 8 |
8 제6항에 있어서, 상기 전도성 물질층은 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센서 |
| 9 |
9 제3항 또는 제5항에 있어서, 상기 소스 및 상기 드레인을 덮도록 상기 소스 및 상기 드레인 상에 형성되고 상기 게이트의 측면을 둘러싸는 친수성층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센서 |
| 10 |
10 제9항에 있어서, 상기 친수성층은 SiO2 또는 Al2O3를 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센서 |
| 11 |
11 제6항에 있어서, 상기 소수성층을 덮도록 상기 소수성층 상에 형성되고 상기 전도성 물질층을 둘러싸는 친수성층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센서 |
| 12 |
12 제11항에 있어서, 상기 친수성층은 SiO2 또는 Al2O3를 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센서 |
| 13 |
13 삭제 |
| 14 |
14 청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다 |
| 15 |
15 청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다 |
| 16 |
16 청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다 |
| 17 |
17 청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다 |
| 18 |
18 기판에 채널 영역을 사이에 두고 서로 이격되어 형성된 소스 및 드레인;상기 채널 영역 상부에 형성된 절연층;상기 절연층상에 형성된 게이트;상기 게이트, 상기 소스 및 상기 드레인을 덮는 소수성층; 및 상기 소수성층에 형성된 관통홀을 통해 상기 게이트와 연결되고 상기 소수성층상에 형성된 전도성 물질층을 포함하는 습도 센싱용 트랜지스터 |
| 19 |
19 제18항에 있어서, 상기 소수성층은 실리콘 질화막을 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센싱용 트랜지스터 |
| 20 |
20 제18항에 있어서, 상기 전도성 물질층은 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센싱용 트랜지스터 |
| 21 |
21 제18 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 소수성층을 덮도록 상기 소수성층 상에 형성되고 상기 전도성 물질층을 둘러싸는 친수성층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센싱용 트랜지스터 |
| 22 |
22 제21항에 있어서, 상기 친수성층은 SiO2 또는 Al2O3를 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센싱용 트랜지스터 |
| 23 |
23 청구항 23은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US09664630 | US | 미국 | FAMILY |
| 2 | US20140298904 | US | 미국 | FAMILY |
| 3 | WO2012138054 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
| 4 | WO2012138054 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
| 5 | WO2012138054 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2014298904 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | US9664630 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 3 | WO2012138054 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 4 | WO2012138054 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 5 | WO2012138054 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1322354-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20110407 출원 번호 : 1020110032135 공고 연월일 : 20131025 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130828 청구범위의 항수 : 14 유별 : G01N 27/22 발명의 명칭 : 습도 센서, 습도 센싱 방법 및 이를 위한 트랜지스터 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 295,500 원 | 2013년 10월 22일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 243,600 원 | 2016년 10월 04일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 243,600 원 | 2017년 09월 28일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 174,000 원 | 2018년 10월 02일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 316,000 원 | 2019년 10월 01일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 316,000 원 | 2020년 09월 25일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.04.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0253519-12 |
| 2 | 의견제출통지서 | 2012.10.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0654519-43 |
| 3 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-1087565-76 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.12.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-1087566-11 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2013.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0374224-24 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.07.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0690926-44 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.07.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0690924-53 |
| 9 | 등록결정서 | 2013.08.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0596463-70 |
| 10 | [일부 청구항 포기]취하(포기)서 | 2013.10.21 | 수리 (Accepted) | 2-1-2013-0551893-33 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1415115198 |
|---|---|
| 세부과제번호 | C1080-1101-0001 |
| 연구과제명 | KAIST-ICU 통합지원(ICC 교육여건 개선) |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 정보통신산업진흥원 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200903~201112 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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