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전계 가변형 BST-Ｐｂ계 파이로클로어 복합 유전체 박막과 제조 방법
- 기술번호 : KST2014046736
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 Pb를 기반으로 한 파이로클로어 구조의 유전체를 포함한 Ba1-xSrxTiO3 전계 가변형 복합 유전체 박막 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 Ba-Sr-Ti-O의 강유전체와 Pb-X-Nb-O (여기서 X는 Zn, Ni, Cu 및 Mg으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 하나의 원소임)계 파이로클로어 구조의 복합 유전체 박막으로서, 1000kV/cm의 전계 인가시 전계 무인가시의 상기 박막의 유전율에 대한 전계 인가시의 상기 박막의 유전율의 변화의 백분율로 정의되는 전계 가변율이 약 20 내지 70%인 것을 특징으로 하는 유전체 박막을 제공한다. 본 발명에 따르면, 높은 유전율 및 낮은 유전 손실 특성과 높은 전계 가변율을 가지며, 위상 변환기, 평판 안테나, 필터 등의 전계 가변형 캐패시터로서 사용되기에 적합한 전계 가변형 유전체 박막을 제공할 수 있다. 복합 유전체 박막, BST, 파이로클로어상, Pb계 유전체, 전계 가변형 커패시터, 유전율 |
|---|---|
| Int. CL | C04B 35/468 (2006.01) H01B 1/08 (2006.01) |
| CPC | H01B 3/12(2013.01)H01B 3/12(2013.01)H01B 3/12(2013.01)H01B 3/12(2013.01)H01B 3/12(2013.01)H01B 3/12(2013.01)H01B 3/12(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020070108948 (2007.10.29) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1013762-0000 (2011.02.01) |
| 공개번호/일자 | 10-2007-0110237 (2007.11.16) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110214) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 |
대한민국 | 1020070098023 | 2007.09.28
|
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | 심판사항 |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2007.10.29) |
| 심사청구항수 | 9 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 고경현 | 대한민국 | 서울 서초구 |
| 2 | 이혁준 | 대한민국 | 경기 용인시 수지구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 대리인 정보가 없습니다 | |||
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2007.10.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0774779-79 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2007.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2007-5193163-24 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2008.08.08 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2008.09.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0060723-19 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2008.10.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0556444-13 |
| 6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2008.12.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0897044-71 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.01.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0059596-63 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.01.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0059595-17 |
| 9 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2009.05.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0220162-42 |
| 10 | 명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2009.07.27 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2009-0037324-42 |
| 11 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2009.08.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0510389-21 |
| 12 | 심사전치출원의 심사결과통지서 Notice of Result of Reexamination |
2009.09.02 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0368333-89 |
| 13 | 심사관의견요청서 Request for Opinion of Examiner |
2009.10.05 | 수리 (Accepted) | 7-8-2009-0032676-44 |
| 14 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.11.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0498960-70 |
| 15 | 서류반려이유통지서 Notice of Reason for Return of Document |
2011.02.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0009510-94 |
| 16 | 서류반려통지서 Notice for Return of Document |
2011.03.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0018568-31 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 22 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 23 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 복합 유전체 박막으로서, Pb-X-Nb-O (여기서 X는 Zn, Ni, Cu 및 Mg으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 하나의 원소임)계 파이로클로어 상을 포함한 Ba-Sr-Ti-O의 유전체 박막으로, 아래의 수학식에 의해 정의되는 전계 가변율이 20 ∼ 75% 범위이며, [수학식] Co : 무전계시의 정전 용량, Cv : 1000 kV/cm 전계 인가시의 정전 용량 상기 유전체 박막은, Pb6Zn1Nb6O22 또는 Pb6Mg1Nb6O22로 표현되는 파이로클로어 상을 포함한 Ba1-xSrxTiO3의 박막인 것을 특징으로 하는 복합 유전체 박막 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 삭제 |
| 4 |
4 제1항에 있어서, 상기 유전체 박막의 유전 손실 tan δ은, 0 |
| 5 |
5 제1항에 있어서, 상기 유전체 박막의 두께는, 3000Å 미만인 것을 특징으로 하는 복합 유전체 박막 |
| 6 |
6 삭제 |
| 7 |
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| 8 |
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| 9 |
9 삭제 |
| 10 |
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| 11 |
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| 12 |
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| 13 |
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| 14 |
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| 15 |
15 삭제 |
| 16 |
16 Pb-X-Nb-O (여기서 X는 Zn, Ni, Cu 및 Mg으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 최소한 하나 이상을 포함)로 표현되는 소결체 타겟과 Ba-Sr-Ti-O 로 표현되는 소결체 타겟을 제공하는 단계; 기판을 가열하는 단계; 및 상기 두 소결체 타겟 물질을 동시 스퍼터링하여 상기 기판에 Pb-X-Nb-O와 Ba-Sr-Ti-O 복합 박막을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 복합 박막은, 조성식 Pb6X1Nb6O22로 표현되는 파이로클로어 상을 포함한 Ba1-xSrxTiO3 강유전체인 것을 특징으로 하는 복합 유전체 박막 형성 방법 |
| 17 |
17 삭제 |
| 18 |
18 제16항에 있어서, 상기 기판 가열 단계에서 기판 온도는, 350 ∼ 600℃로 유지되는 것을 특징으로 하는 복합 유전체 박막 형성 방법 |
| 19 |
19 제 16 항에 있어서, 상기 복합 유전체 박막을 동시 스퍼터링하는 단계에서, 스퍼터링 가스로는 아르곤 가스를 사용하며, 반응가스로는 산소가스를 사용하는 것을 특징으로 하는 복합 유전체 박막 형성 방법 |
| 20 |
20 제19항에 있어서, 상기 아르곤 가스에 대한 산소 가스의 혼합 비율은 10%로 유지되는 것을 특징으로하는 복합 유전체 박막 형성 방법 |
| 21 |
21 제16항에 있어서, 상기 복합 유전체 박막을 동시 스퍼터링하는 단계에서, 증착 압력은 10 mTorr로 유지되는 것을 특징으로 하는 복합 유전체 박막 형성 방법 |
| 22 |
22 제16항에 있어서, 상기 복합 유전체 박막 형성 단계 이후, 500 ∼ 800℃ 온도범위에서 후열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전체 박막 형성 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | KR1020070108487 | KR | 대한민국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | KR20070108487 | KR | 대한민국 | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1013762-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20071029 출원 번호 : 1020070108948 공고 연월일 : 20110214 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20101103 청구범위의 항수 : 9 유별 : C04B 35/468 발명의 명칭 : 전계 가변형 ＢＳＴ-Ｐｂ계 파이로클로어 복합 유전체박막과 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20150202 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 198,000 원 | 2011년 02월 07일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 238,000 원 | 2014년 01월 27일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2007.10.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0774779-79 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2007.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2007-5193163-24 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2008.08.08 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2008.09.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0060723-19 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2008.10.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0556444-13 |
| 6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2008.12.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0897044-71 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.01.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0059596-63 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.01.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0059595-17 |
| 9 | 거절결정서 | 2009.05.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0220162-42 |
| 10 | 명세서 등 보정서(심사전치) | 2009.07.27 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2009-0037324-42 |
| 11 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2009.08.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0510389-21 |
| 12 | 심사전치출원의 심사결과통지서 | 2009.09.02 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0368333-89 |
| 13 | 심사관의견요청서 | 2009.10.05 | 수리 (Accepted) | 7-8-2009-0032676-44 |
| 14 | 등록결정서 | 2010.11.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0498960-70 |
| 15 | 서류반려이유통지서 | 2011.02.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0009510-94 |
| 16 | 서류반려통지서 | 2011.03.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0018568-31 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 22 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 23 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술번호 | KST2014046736 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국과학기술원 |
| 기술명 | 전계 가변형 BST-Ｐｂ계 파이로클로어 복합 유전체 박막과 제조 방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 Pb를 기반으로 한 파이로클로어 구조의 유전체를 포함한 Ba1-xSrxTiO3 전계 가변형 복합 유전체 박막 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 Ba-Sr-Ti-O의 강유전체와 Pb-X-Nb-O (여기서 X는 Zn, Ni, Cu 및 Mg으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 하나의 원소임)계 파이로클로어 구조의 복합 유전체 박막으로서, 1000kV/cm의 전계 인가시 전계 무인가시의 상기 박막의 유전율에 대한 전계 인가시의 상기 박막의 유전율의 변화의 백분율로 정의되는 전계 가변율이 약 20 내지 70%인 것을 특징으로 하는 유전체 박막을 제공한다. 본 발명에 따르면, 높은 유전율 및 낮은 유전 손실 특성과 높은 전계 가변율을 가지며, 위상 변환기, 평판 안테나, 필터 등의 전계 가변형 캐패시터로서 사용되기에 적합한 전계 가변형 유전체 박막을 제공할 수 있다. 복합 유전체 박막, BST, 파이로클로어상, Pb계 유전체, 전계 가변형 커패시터, 유전율 |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 박막제조 기술 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1415115198 |
|---|---|
| 세부과제번호 | C1080-1101-0001 |
| 연구과제명 | KAIST-ICU 통합지원(ICC 교육여건 개선) |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 정보통신산업진흥원 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200903~201112 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1340013820 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과C6A1611 |
| 연구과제명 | 글로벌IT리더양성사업단 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
| 연구주관기관명 | 한국정보통신대학교 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 200603~201202 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
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| 번호 | 심판번호(숫자) | 심판번호(문자) | 사건의표시 | 청구일 | 심결일자 |
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| 1 | 2009101005922 | 2009원5922 | 2007년 특허출원 제0108948호 거절결정불복 | 2009.06.26 | 2010.10.15 |