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차지펌핑을 이용한 바이오센서, 바이오센서 소자, 바이오센서 소자의 제조방법 및 바이오 물질 검출 방법
- 기술번호 : KST2015113467
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 바이오센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 바이오센서는 기판, 기판 양측에 서로 이격되어 형성된 소스/드레인, 소스/드레인 사이의 기판상에 형성된 게이트 및, 기판과 게이트 사이에 형성되고, 바이오 물질이 고정되는 공간으로서 기판의 채널영역 일부분이 노출되도록 식각되어 형성된 나노갭을 갖는 게이트 절연층을 포함하는 전계효과 트랜지스터, 게이트에 펄스 전압을 인가하는 제1 전압 공급부, 소스/드레인에 일정한 전압을 인가하는 제2 전압 공급부 및, 기판에 흐르는 차지펌핑전류를 측정하고, 측정된 차지펌핑전류를 이용하여 전계효과 트랜지스터의 전기적 특성 변화를 측정하는 바이오 검출부를 포함한다. 본 발명에 따르면, 현재의 CMOS 공정기술을 이용하여 반복 재현성이 높은 나노갭을 갖는 FET 구조를 제공할 수 있으며, 이에 따라 종래의 바이오센서 소자에 비해 그 크기가 줄어들고 바이오 물질의 변화에 따른 소자의 전기적 특성 민감도가 증가하여 더욱 향상된 바이오 물질의 검출이 가능하다. 바이오센서, 트랜지스터, 나노갭, 차지펌핑(charge pumping) |
|---|---|
| Int. CL | G01N 27/414 (2006.01) G01N 33/48 (2006.01) |
| CPC | G01N 27/4145(2013.01) G01N 27/4145(2013.01) G01N 27/4145(2013.01) G01N 27/4145(2013.01) G01N 27/4145(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090071409 (2009.08.03) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1032067-0000 (2011.04.22) |
| 공개번호/일자 | 10-2011-0013777 (2011.02.10) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110502) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.08.03) |
| 심사청구항수 | 10 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 최양규 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 김성호 | 대한민국 | 대전 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김성호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.08.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0475180-20 |
| 2 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.11.11 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2009-0693794-01 |
| 3 | 서류반려이유통지서 Notice of Reason for Return of Document |
2009.11.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0085584-63 |
| 4 | 서류반려통지서 Notice for Return of Document |
2009.12.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0097735-97 |
| 5 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.11.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 6 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.12.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0074334-93 |
| 7 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.04.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0214933-00 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 차지펌핑을 이용하여 바이오 물질을 검출하는 바이오센서로서, 기판, 상기 기판 양측에 서로 이격되어 형성된 소스/드레인, 상기 소스/드레인 사이의 상기 기판상에 형성된 게이트 및, 상기 기판과 상기 게이트 사이에 형성되고, 바이오 물질이 고정되는 공간으로서 상기 기판의 채널영역 일부분이 노출되도록 식각되어 형성된 나노갭을 갖는 게이트 절연층을 포함하는 전계효과 트랜지스터; 상기 게이트에 펄스 전압을 인가하는 제1 전압 공급부; 상기 소스/드레인에 일정한 전압을 인가하는 제2 전압 공급부; 및 상기 기판에 흐르는 차지펌핑전류를 측정하고, 상기 측정된 차지펌핑전류를 이용하여 상기 전계효과 트랜지스터의 전기적 특성 변화를 측정하는 바이오 검출부 를 포함하는 차지펌핑을 이용한 바이오센서 |
| 2 |
2 제1항에 있어서, 상기 바이오 검출부는, 상기 차지펌핑전류를 이용하여 상기 게이트 절연층과 상기 채널영역 사이의 평균계면트랩밀도 값을 측정하는, 차지펌핑을 이용한 바이오센서 |
| 3 |
3 제1항에 있어서, 상기 바이오 물질은, DNA, RNA, 핵산 유사체, 단백질, 펩티드, 아미노산, 리간드, 항체-항원물질, 당구조물, 유/무기화합물, 비타민, 드러그(drug) 및 효소 중 하나인, 차지펌핑을 이용한 바이오센서 |
| 4 |
4 바이오 물질을 검출하기 위한 전계효과 트랜지스터형 바이오센서 소자로서, 기판; 상기 기판 양측에 서로 이격되어 형성된 소스/드레인; 상기 소스/드레인 사이의 상기 기판상에 형성된 게이트; 및 상기 기판과 상기 게이트 사이에 형성되고, 바이오 물질이 고정되는 공간으로서 상기 기판의 채널영역 일부분이 노출되도록 식각되어 형성된 나노갭을 갖는 게이트 절연층 을 포함하는 바이오센서 소자 |
| 5 |
5 바이오 물질을 검출하기 위한 전계효과 트랜지스터형 바이오센서 소자를 제조하는 방법으로서, 기판상에 게이트 절연층을 형성하는 단계; 상기 게이트 절연층상에 게이트를 형성하는 단계; 상기 게이트 및 상기 게이트 절연층을 사이에 두고 상기 기판 양측에 소스/드레인을 형성하는 단계; 및 상기 기판의 채널영역 일부분이 노출되도록 상기 게이트 절연층을 식각하여 상기 게이트 절연층에 나노갭을 형성하는 단계 를 포함하는 바이오센서 소자의 제조방법 |
| 6 |
6 제5항에 있어서, 상기 나노갭의 두께는 상기 기판상에 형성되는 상기 게이트 절연층의 두께에 따라 조절되는, 바이오센서 소자의 제조방법 |
| 7 |
7 제1항의 바이오센서를 이용하여 바이오 물질을 검출하는 방법으로서, 상기 게이트 절연층에 형성된 상기 나노갭 내부에 바이오 물질을 고정화시키는 고정화 단계; 상기 소스/드레인에 일정한 전압을 인가하고, 상기 게이트에 펄스 전압을 인가하는 전압 인가 단계; 및 상기 기판에 흐르는 차지펌핑전류를 측정하고, 상기 측정된 차지펌핑전류를 이용하여 상기 전계효과 트랜지스터의 전기적 특성 변화를 측정하는 측정 단계 를 포함하는 바이오 물질 검출방법 |
| 8 |
8 제7항에 있어서, 상기 고정화 단계는, 상기 나노갭 내부에 바이오 물질을 고정화시키기 위한 링커를 고정화시키는 단계; 및 상기 링커와 바이오 물질을 결합하는 단계를 포함하는, 바이오 물질 검출방법 |
| 9 |
9 제8항에 있어서, 상기 링커는, SAM(self assembled monolayer)를 포함하고, 상기 바이오 물질은, DNA, RNA, 핵산 유사체, 단백질, 펩티드, 아미노산, 리간드, 항체-항원물질, 당구조물, 유/무기화합물, 비타민, 드러그(drug) 및 효소 중 하나를 포함하는, 바이오 물질 검출방법 |
| 10 |
10 제7항에 있어서, 상기 측정 단계는, 상기 차지펌핑전류를 이용하여 상기 게이트 절연층과 상기 채널영역 사이의 평균계면트랩밀도 값을 측정하는, 바이오 물질 검출방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1032067-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090803 출원 번호 : 1020090071409 공고 연월일 : 20110502 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110421 청구범위의 항수 : 10 유별 : G01N 27/414 발명의 명칭 : 차지펌핑을 이용한 바이오센서, 바이오센서 소자, 바이오센서 소자의 제조방법 및 바이오 물질 검출 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 217,500 원 | 2011년 04월 25일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 260,000 원 | 2014년 03월 28일 | 납입 |
| 제 5 - 7 년분 | 금 액 | 801,800 원 | 2015년 03월 26일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 240,000 원 | 2018년 04월 06일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 240,000 원 | 2019년 04월 02일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 395,000 원 | 2020년 03월 26일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.08.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0475180-20 |
| 2 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.11.11 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2009-0693794-01 |
| 3 | 서류반려이유통지서 | 2009.11.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0085584-63 |
| 4 | 서류반려통지서 | 2009.12.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0097735-97 |
| 5 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.11.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 6 | 선행기술조사보고서 | 2010.12.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0074334-93 |
| 7 | 등록결정서 | 2011.04.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0214933-00 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345145508 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2005-2001274 |
| 연구과제명 | 생체기능 모니터링을 위한 바이오센서 연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200504~201403 |
| 기여율 | 0.33333334 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | BT(생명공학기술) |
| 과제고유번호 | 1345151486 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2007-0056950 |
| 연구과제명 | 나노소자를 위한 trans-scale 융합 기술 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200707~201206 |
| 기여율 | 0.33333334 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1415115198 |
|---|---|
| 세부과제번호 | C1080-1101-0001 |
| 연구과제명 | KAIST-ICU 통합지원(ICC 교육여건 개선) |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 정보통신산업진흥원 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200903~201112 |
| 기여율 | 0.33333334 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1345098344 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 14-2008-01-001-00 |
| 연구과제명 | 나노임프린트공정기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200804~201203 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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